公开(公告)号：CN118746269A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202410792444.7

申请日：2024-06-19

申请人： 大连理工大学

发明人： 周平 ,  彭智颖 ,  李凯强 ,  侯长余

IPC分类号： G01B11/27 ,  G01B11/26 ,  G01B11/00 ,  G01B9/02

摘要： 本发明公开了一种基于牛顿环原理的回转轴回转误差测量方法，包括以下步骤：调节摄像装置位置与平面反射镜倾角；采集回转轴回转过程中干涉条纹与径向跳动标志物运动图像；对五自由度回转轴回转误差数据进行处理。本发明只采用一个高速相机作为数据采集设备即可获得回转轴的五个自由度误差，结构简单，测得的回转轴误差相较于正常的光学测量更加全面；本发明采用牛顿环干涉条纹的原理减小了对基准件的精度要求，因基准件引入的系统误差更小；本发明采用牛顿环原理和三维工作台即可消除平面基准件安装过程中基准件平面与回转轴回转轴向的垂直度误差，即消除了基准件平面与回转轴回转轴向的垂直度误差对回转轴回转误差中回转轴倾角误差测量的影响。

公开(公告)号：CN118031843A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410236895.2

申请日：2024-03-01

申请人： 大连理工大学

发明人： 周平 ,  彭智颖 ,  李凯强 ,  侯长余 ,  闫英

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/00

摘要： 本发明公开了一种抛光垫面形和正交网格沟槽在位测量方法，在一次测量过程中，利用每组采集数据中的标准块数据段拟合出机床的倾斜角度，有效的消除了每组数据中机床旋转时产生的倾覆误差，以消除了倾覆误差的标准块数据段为参考，将每组面形高度数据进行平移，有效的消除了抛光盘跳动误差，相较于采用气浮转台、液体静压转台等高精度转台，该设计成本较低；本发明利用两组夹角不为45°倍数的抛光垫面形数据，有效地识别出抛光垫正交网格沟槽结构，测量分析耗时短、效率高，相较于用一条半径数据代替整盘面形的数据处理方法，本发明测量得到了抛光垫正交沟槽结构，在分析工件接触压力分布时拥有更精确的抛光垫面形。