-
-
公开(公告)号:CN116539941A
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202310486231.7
申请日:2023-05-04
申请人: 大连理工大学
摘要: 本发明公开一种适用于脉冲等离子体诊断的静电三探针系统,包括:在电路设计中引入磁耦合,实现探针电流测量回路与探针驱动回路的电隔离,使探针电流测量部分可以与数据采集装置共地,而不影响探针驱动回路的可靠电悬浮,减小电路悬浮部分的组成和体积,降低探针电路的对地电容,探针电流测量电路部分与数据采集装置的共地,便于整个探针系统的集成化、自动化、仪器化;通过减弱两个回路之间的静电耦合,有效抑制脉冲放电对电流测量回路的干扰;提出一种三探针数据分析算法,有效纠正探针工作点电压选择导致的诊断结果偏差,扩展探针工作点电压的选择范围,解决三探针工作点电压位于探针偏压饱和区间时的数据分析困难,扩展完善三探针的诊断原理。
-