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公开(公告)号:CN115407607B
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202210843159.4
申请日:2022-07-18
申请人: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要: 本发明公开一类锌氧簇化合物在光刻胶领域的应用,其结构通式如A所示;将所述锌氧簇化合物或其组合物用作制备光刻胶,该一体化的光刻胶分子既是光敏剂,又是树脂,合成方法简单,原料简单易得,反应一步即可高产率得到产物,产物纯净,其中苯及其衍生物配体大大提高了锌氧簇在各种溶剂或显影剂中的溶解度,尤其是4‑三氟苯基配体的分子适合绝大多数溶剂,具有很强的工艺包容性,非常适合制备15~100nm不同厚度且均一的光刻胶薄膜。在生产中可以不加任何助剂,实施方便,大大降低了成本。所合成的光刻胶分子具有很高的热稳定性及储存稳定性、烘烤时不析出、光刻中不易变性、较好的成膜性、较低的粘度等,适用于不同类型的光刻技术。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN115215743B
公开(公告)日:2024-03-26
申请号:CN202210843202.7
申请日:2022-07-18
申请人: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC分类号: C07C63/64 , C07C61/135 , C07C53/138 , C07C53/128 , C07C51/41 , G03F7/004 , G03F7/038
摘要: 本发明涉及一类锌氧簇化合物、其制备方法及应用,其结构通式如I所示,且通式I结构的锌氧簇化合物的制备方法简单,仅需利用无机锌体系和有机酸配体在常压下一步直接合成法获得式I所示的锌氧簇化合物光刻胶分子。该锌氧簇化合物的应用,包括将上述锌氧簇化合物为唯一组分直接作为光刻胶应用,作为光刻胶、利用锌氧簇化合物或光刻胶组合物施加在基底上成膜。由本发明的光刻胶或其组合物制备得到的薄膜具有良好的溶解度、成膜性、粘附性,热稳定性,且易于保存,结构稳定,能够满足不同类型光刻技术的要求。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN115215743A
公开(公告)日:2022-10-21
申请号:CN202210843202.7
申请日:2022-07-18
申请人: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC分类号: C07C63/64 , C07C61/135 , C07C53/138 , C07C53/128 , C07C51/41 , G03F7/004 , G03F7/038
摘要: 本发明涉及一类锌氧簇化合物、其制备方法及应用,其结构通式如I所示,且通式I结构的锌氧簇化合物的制备方法简单,仅需利用无机锌体系和有机酸配体在常压下一步直接合成法获得式I所示的锌氧簇化合物光刻胶分子。该锌氧簇化合物的应用,包括将上述锌氧簇化合物为唯一组分直接作为光刻胶应用,作为光刻胶、利用锌氧簇化合物或光刻胶组合物施加在基底上成膜。由本发明的光刻胶或其组合物制备得到的薄膜具有良好的溶解度、成膜性、粘附性,热稳定性,且易于保存,结构稳定,能够满足不同类型光刻技术的要求。
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公开(公告)号:CN115407607A
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202210843159.4
申请日:2022-07-18
申请人: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要: 本发明公开一类锌氧簇化合物在光刻胶领域的应用,其结构通式如A所示;将所述锌氧簇化合物或其组合物用作制备光刻胶,该一体化的光刻胶分子既是光敏剂,又是树脂,合成方法简单,原料简单易得,反应一步即可高产率得到产物,产物纯净,其中苯及其衍生物配体大大提高了锌氧簇在各种溶剂或显影剂中的溶解度,尤其是4‑三氟苯基配体的分子适合绝大多数溶剂,具有很强的工艺包容性,非常适合制备15~100nm不同厚度且均一的光刻胶薄膜。在生产中可以不加任何助剂,实施方便,大大降低了成本。所合成的光刻胶分子具有很高的热稳定性及储存稳定性、烘烤时不析出、光刻中不易变性、较好的成膜性、较低的粘度等,适用于不同类型的光刻技术。
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