一类含氟锡氧簇光刻胶化合物及其在光刻领域的应用

    公开(公告)号:CN118388525A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410481379.6

    申请日:2024-04-22

    IPC分类号: C07F7/22 G03F7/004

    摘要: 本发明涉及一类含氟锡氧簇化合物及其应用。该含氟锡氧簇化合物通过引入氟元素增强了光刻胶材料的化学稳定性,减少了在存储和使用过程中可能发生的化学降解,有助于实现高精度和高分辨率的图案转移,从而提高半导体器件的性能和可靠性。此外,该光刻胶化合物具有优异的溶解性和成膜性,在硅片上形成高质量的薄膜。可应用于电子束光刻、深紫外光刻和极紫外光刻等多个领域。在这些应用中,光刻胶能够提供高分辨率、低LER值和准确的图案转移能力,满足微电子制造工艺的需求。综上所述,本发明提供了一种合成含氟锡氧簇化合物具有高热稳定性、储存稳定性、溶解性和成膜性,适用于多种光刻技术,在微电子制造领域具有重要的应用价值。

    新型单组份二苯甲酮类光引发剂及其制备与性能研究

    公开(公告)号:CN118271217A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410362484.8

    申请日:2024-03-28

    摘要: 本发明提供一新型单组份二苯甲酮类光引发剂及其制备与性能研究。该光引发剂在二苯甲酮母体上引入硫醚键和苯基化合物,使其具备了夺氢型(II型)和裂解型(I型)光引发剂的双重特点。通过Steglich酯化反应引入酯基以增加其在丙烯酸酯类单体中的溶解性,并引入氧醚、硫醚、叔胺等供氢基团,使其可以在无需添加供氢体的情况下高效引发丙烯酸酯类单体聚合,避免了供氢体的使用而带来的气味、毒性等问题。该光引发剂在单独使用时,单体的双键转化率及转化速率均高于市售的同类型光引发剂(BP)所引发的单体双键转化率及转化速率。

    萘酰亚胺光引发剂、光可聚合液体组合物及方法和应用

    公开(公告)号:CN117658914A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311625695.8

    申请日:2023-11-30

    IPC分类号: C07D221/14 C08F2/48

    摘要: 本发明公开了一类萘酰亚胺光引发剂,其结构如下通式I所示:在通式I中,R1的结构如通式II所示,在通式II中,n取值为任意的正整数;R2选自Br、H、NH2、取代或未取代的苯基、氮丙啶、氮杂环丁烷、四氢吡咯、吗啡啉、哌啶、六亚甲基亚胺或二甲胺中的一种;R3选自苯环不确定位置的取代基。本发明公开的一类萘酰亚胺光引发剂,基于自旋轨道电荷转移系统间交叉的二乙氨基苯联萘酰亚胺,在没有重原子的情况下实现有效的可见光聚合。