公开(公告)号：CN109023506A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810712641.8

申请日：2018-06-29

申请人： 天津中环领先材料技术有限公司

发明人： 刘凯 ,  郝大维 ,  刘愿 ,  赵闯 ,  吴峰 ,  代长雷 ,  孙晨光 ,  王彦君 ,  孙健

IPC分类号： C30B13/16 ,  C30B29/06

CPC分类号： C30B13/16 ,  C30B29/06

摘要： 本发明提供了一种降低区熔单晶碳含量的预热装置，包括石墨预热环及石英隔片；石墨预热环为圆柱体结构，其上顶面设有向下凹陷的碗状凹槽，碗状凹槽的底部设有通孔；石墨预热环表面环形上沿上包裹有石英隔片。本发明所述的降低区熔单晶碳含量的预热装置具有良好预热效果的同时能够有效避免多晶母料被石墨预热环碳污染的情况发生，避免单晶硅中的碳含量超标，而且有效改善石墨预热环表面易于吸附杂质进入熔区导致单晶掉苞问题。

公开(公告)号：CN208395311U

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201821039817.X

申请日：2018-06-29

申请人： 天津中环领先材料技术有限公司

发明人： 刘凯 ,  郝大维 ,  刘愿 ,  赵闯 ,  吴峰 ,  代长雷 ,  孙晨光 ,  王彦君 ,  孙健

IPC分类号： C30B13/16 ,  C30B29/06

摘要： 本实用新型提供了一种优化的区熔硅单晶的预热装置，包括石墨预热环及石英隔片；石墨预热环为圆柱体结构，其上顶面设有向下凹陷的碗状凹槽，碗状凹槽的底部设有通孔；石墨预热环表面环形上沿上包裹有石英隔片。本实用新型所述的优化的区熔硅单晶的预热装置具有良好预热效果的同时能够有效避免多晶母料被石墨预热环碳污染的情况发生，避免单晶硅中的碳含量超标，而且有效改善石墨预热环表面易于吸附杂质进入熔区导致单晶掉苞问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208532962U

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201820526408.6

申请日：2018-04-13

申请人： 天津中环领先材料技术有限公司

发明人： 刘凯 ,  吴磊 ,  王遵义 ,  吴峰 ,  李东 ,  王克旭

IPC分类号： C30B13/12 ,  C30B13/28 ,  C30B29/06

摘要： 本实用新型提供了一种提高区熔气相掺杂稳定性的掺杂装置，通过合理的管路结构设计及在掺杂气路上设置掺杂罐，实现掺杂气体及掺杂氩气的均匀混合，通过对掺杂气均匀性的控制、高精度压力的稳定控制及气体流量的控制，可以精确有效的控制进入区熔炉炉膛内的掺杂气流量的相对比例，不但满足了不同的电阻率产品0.1-8000欧姆.厘米的加工工艺要求，同时可将现有气相掺杂技术的理论计算与实际电阻率偏差降低到5％左右。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208395308U

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201820784285.6

申请日：2018-05-24

申请人： 天津中环领先材料技术有限公司

发明人： 张志富 ,  李伟凡 ,  孙健 ,  吴峰 ,  李东 ,  王克旭 ,  王遵义 ,  孙晨光 ,  王彦君

IPC分类号： C30B13/00

摘要： 本实用新型提供了一种区熔炉大盘防护装置，包括左半管和右半管，主轴穿过左半管和右半管形成的圆形管内部，左半管和右半管的上端均设置有上连接孔，下端设置有下连接孔，左半管和右半管的上端通过上连接孔与主轴防尘圈连接，左半管和右半管的下端通过下连接孔与原有的大盘连接，左半管和右半管的外壁的分别固定设置有左防护盘和右防护盘，左防护盘和右防护盘均为半圆形，左防护盘和右防护盘的端面上分别设置有左连接板和右连接板，螺栓穿过左连接板和右连接板上的板间连接孔实现左半管和右半管以及左防护盘和右防护盘之间的可拆卸连接。本实用新型能减小单晶裂后流熔对炉体的影响，能够轻松的将硅渣清理干净，节约了大量工时，提高效率。

公开(公告)号：CN211256150U

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201922248626.5

申请日：2019-12-11

申请人： 中环领先半导体材料有限公司 ,  天津中环领先材料技术有限公司

发明人： 郝大维 ,  张志富 ,  王克旭 ,  李皓 ,  吴峰 ,  楚占斌 ,  王彦君

IPC分类号： C30B13/00 ,  C30B29/06

摘要： 本实用新型提供了一种区熔硅单晶的加持结构，包括外轴、固定件，所述销子本体为丁字结构，顶端设有螺母，中间为较厚的圆形钼板，钼板边缘设有弧形开口，弧形开口与区熔硅单晶的直径相对应，弧形开口紧贴与区熔硅单晶，中间设有与螺母对应的螺栓孔，低端设有固定销，固定销穿过钼板与螺母进行链接，固定销固定在区熔硅单晶制造机的外轴，钼板的倒角将区熔硅单晶进行加持。本实用新型所述的倒角销子片采用的是较厚的钼板作为原材，在与区熔硅单晶接触面处进行倒角处理，使得销子片与区熔硅单晶接触面加大，贴合，从而达到区熔硅单晶加持更稳定的目的。

公开(公告)号：CN210826436U

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201921315555.X

申请日：2019-08-14

申请人： 天津中环领先材料技术有限公司

发明人： 边智学 ,  郝大维 ,  刘琨 ,  吴峰 ,  赵闯 ,  李皓 ,  王聚安 ,  孙晨光 ,  王彦君

IPC分类号： C30B13/20 ,  C30B29/06

摘要： 本实用新型提供一种便于拆装区熔线圈的辅助装置，该装置包括一种便于拆装区熔线圈的辅助装置，其特征在于：包括珍珠棉、主体钢托、连接杆，所述珍珠棉下表面与主体钢托上表面连接，所述主体钢托下表面中心位置设置有连接杆。该实用新型的有益效果是：在原来区熔线圈更换安装环节仅靠手托区熔线圈拆装，容易造成区熔线圈及与其连接的部位密封圈脱落，进而造成装置密封性能不达标，以及手持安装不稳定容易碰撞下方固有的保温桶结构的情况下，增加了该辅助装置，在该辅助装置的连接杆上设置连接孔直接连接在设备原有部件上，借助设备原有部件的结构及可升降的功能实现对区熔线圈的方便稳定安装，避免了连接部位密封圈密封不好及保温桶碰撞损坏问题。