一种基于IGBT用区熔8英寸硅单晶的新生产方法

    公开(公告)号:CN106011997A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610467354.6

    申请日:2016-06-24

    发明人: 杨凯 高辉

    IPC分类号: C30B13/16 C30B13/28 C30B29/06

    CPC分类号: C30B13/16 C30B13/28 C30B29/06

    摘要: 现今社会随着各种工业的快速发展,能源和电力系统的应用、信息业的发展、微电子技术、微波电子技术、光电子技术、电力电子技术、传感技术等各方都在应用半导体材料;并且随着我国一批国家重点大型和超大型水利、火力发电工程、地铁、轻轨、铁路工程的陆续开工和新兴IGBT产业的兴起对于——区熔硅单晶尤其是大直径区熔8英寸单晶的生产产能不足、工艺相对缺乏的问题更将凸现出来。8英寸区熔硅单晶生产目前主要以手动操作控制单晶生长为基础,本文围绕稳定8英寸区熔硅单晶生长过程中单晶形状问题的生产工艺,从手动生产加功率的方法、功率输出的稳定性、单晶生长的角度等着重说明这一种基于IGBT用区熔8英寸硅单晶的生产方法。

    一种蓝宝石晶体生长炉及制备蓝宝石晶体的方法

    公开(公告)号:CN105350069A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510978870.0

    申请日:2015-12-24

    摘要: 本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉及制备蓝宝石晶体的方法,包括炉体、真空机组及发热体,真空机组与炉体内部连通,发热体设置在炉体内,炉体内还设有隔热屏、温区分隔板、温度传感器、料盘及传动机构,本发明通过温区分隔板将隔热屏围成的空间分割成多个相对独立的温区,每个温区独立加热、独立测温、独立控制,通过不同温区的温度控制实现炉膛在水平或竖直方向上呈现一定的温度梯度,通过移动坩埚,或在坩埚、发热体、晶体都不动的情况下控制不同温区的温度实现温场的温度梯度不断移动,从而满足晶体长晶界面温度梯度的需要并实现晶体不断生长,可以制备大尺寸板状单晶,且晶体生长周期短、成品率高、生产成本低。

    一种真空区熔硅单晶生长用加热线圈的表面预处理方法

    公开(公告)号:CN106498495A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201610941175.1

    申请日:2016-11-02

    发明人: 闫萍 庞炳远 刘洪

    摘要: 本发明提供了一种真空区熔硅单晶生长用加热线圈的表面预处理方法,第一步、线圈表面喷砂:第二歩、线圈表面的超声波清洗:第三步、多晶硅真空区熔及蒸发:第四歩、线圈表面清理:第五歩、覆盖硅膜层,将第三步、第四歩的过程重复进行三次,使线圈表面被真空蒸发的硅膜层完全覆盖。利用真空区熔工艺,以高纯多晶硅为原料,采用真空蒸发的方法,对线圈表面进行包硅预处理,使线圈表面形成一个牢固附着的硅膜层。采用经预蒸发处理后的线圈作为加热线圈进行真空区熔硅单晶生长时,可完全消除真空蒸发作用对单晶生长的影响,并有效避免了因硅颗粒从线圈表面脱落进入熔区所造成的材料沾污,提高了单晶的少子寿命,满足了真空区熔硅单晶生长的需要。

    基于光学浮区法准连续成分的无机材料单晶生长方法

    公开(公告)号:CN105624774A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201610136787.3

    申请日:2016-03-11

    申请人: 上海大学

    IPC分类号: C30B13/16 C30B13/28 C30B29/24

    CPC分类号: C30B13/16 C30B13/28 C30B29/24

    摘要: 本发明公开了一种基于光学浮区法生长具有连续变化组分的无机材料单晶体的方法,属晶体生长领域。本发明的制备过程为:以高纯的原料按摩尔比处理反应制备多晶非连续组分原料系列。根据所期望的组分变化范围得到的原料按照有限非连续组分变化顺次排列压制料棒并烧结,再置于浮区炉中生长。该方法的特点是上下棒对接时组分相同,在生长过程中顺次渐变,有利于晶体沿失配最小的方向依次生长,生长过程中注意参数的调节,在成分变化处基于上下棒组分的渐变连续混合并由于相对旋转的搅拌作用使得熔区成分连续变化。该方法制备的晶体经检验性能良好,成分易于调控。制得的连续组分单晶将为高通量的材料表征分析和择优选取提供一种可能。