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公开(公告)号：CN117990003A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410088270.6
申请日：2024-01-22
Applicant: 天津大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种镜头模组的三维轮廓同步扫描测量方法，涉及镜头检测技术领域，该方法包括：构建三维轮廓测量系统，基于所述三维轮廓测量系统对待测镜头模组进行测量；对线共焦传感器进行标定，以确定镜头模组中镜片实际位置与高速相机组件拍摄的光条轮廓图像中相应点的对应关系；通过Z轴运动组件调整光学测量模块与待测镜头模组之间的距离至聚焦位置；XY运动组件带动待测镜头模组依据规划路径运动，同时所述高速相机组件配合获取整个镜头模组的光条轮廓图像；对整个镜头模组的光条轮廓图像进行数据处理，生成镜头模组的三维轮廓图像。本发明有效地解决了镜头模组三维轮廓的快速准确测量需求。
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公开(公告)号：CN115325963B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211239997.7
申请日：2022-10-11
Applicant: 三代光学科技(天津)有限公司(CN) , 天津大学(CN)
IPC: G01B11/25
Abstract: 发明公开了一种晶圆表面三维形貌测量装置及其测量方法，属于晶圆检测技术领域。测量装置包括光学测量模块，光学测量模块包括高速相机组件、横向切换模组、压电位移组件和GPU图像卡处理模组，高速相机组件内嵌外触发模块，外触发模块与压电位移组件配合用于触发高速相机组件进行拍照，GPU图像卡处理模组用于处理高速相机组件采集干涉条纹图像信息，测量装置基于白光干涉测量原理，保证测量精度，测量方法通过算法辅助干涉测量自动聚焦和图像解析。综上所述，本发明提供了一种晶圆表面三维形貌完整测量的装置和方法，有助于晶圆表面进行高效率高精度测量和评定。
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公开(公告)号：CN114113145B
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202111348411.6
申请日：2021-11-15
Applicant: 天津大学
IPC: G01N21/954 , G01N21/01
Abstract: 本发明属于筒状类待测内壁表面缺陷检测技术，公开了一种小口径内壁微米级别缺陷检测方法、检测装置、应用。通过待测内壁的尺寸的大小进行视觉环境的搭建，将条纹光源放置于待测内壁底部，CCD相机从另一端获取条纹光源在内壁中的内壁成像，当内壁存在缺陷时，对应位置缺陷图像发生偏折；通过设计条纹形状、机械结构以及CCD相机图像处理方法，对发生偏折的缺陷图像基于光线追迹方法实现小口径内壁微米级缺陷在线检测。本发明可以进行高效率检测，解决现有设备节拍慢的问题，在原先基础上提升了数十倍的检测效率。检测的成本均有降低，本发明解决了企业针对小直径内壁缺陷的高精度在线检测，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN112465743B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202011127371.8
申请日：2020-10-20
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种周期性结构质量检测方法，该方法基于频谱分析，首先将周期性结构在时域的纹理信息通过离散二维傅里叶变换到频率域，然后对频谱图像进行预处理得到能够反应时域图像纹理信息的主要频谱特征点，最后定位并提取所述主要频谱特征点，计算所述主要频谱特征点的位置、峰值大小及扩散程度，根据计算结果确定周期性结构的密度、均匀性、结构缺陷、相似度参数。
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公开(公告)号：CN108848295B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201811011741.4
申请日：2018-08-31
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种小型化超短焦视觉成像方法，实现步骤如下：将成像透镜，透镜基座，成像传感器组装成成像子镜头，重复组合成多个成像子镜头；光学结构布局；根据成像距离对多个成像子镜头进行调整，进行成像实验装调，调整照明光源姿态；设置子透镜成像工作模式，根据工作距离和交叠区域范围选择子透镜是否进行成像，当作用距离较近时，选用更多的或全部的成像子镜头进行成像，当作用距离较远时，选择较少的子镜头进行成像，以保证有交叠区域进行后续的图像拼接；进行现场检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111366072A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010086353.3
申请日：2020-02-11
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种用于图像深度学习的数据采集方法：将产品放置于背光光源的表面，然后通过计算机发出控制多轴运动的指令，水平运动轴和水平运动轴接收指令后在平面内带动产品做随机位移运动，同时，升降运动轴、倾斜运动轴、俯仰运动轴接收指令后带动工业相机在空间内做升降、倾斜、俯仰运动；当工业相机运动到空间某一位置时，计算机发出控制光源照明的指令，控制系统内腔环置的不同方位的平板光源、相机搭载的环形光源以及产品下置的背光光源的通断，在一段时间内的工业相机追踪产品位置进行不同条件下的空间拍摄，模拟实际各种拍摄条件，获得数据集。
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公开(公告)号：CN111294514A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010086319.6
申请日：2020-02-11
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种用于图像深度学习的数据集采集系统，包括置于系统内腔的工业相机、位移机构、多方位照明光源和计算机，其特征在于，工业相机用于采集不同位姿、不同光照情况下产品表面图像，进行数据集获取；位移机构，包括水平运动轴系、升降运动、倾斜运动轴和俯仰运动轴，水平运动轴系由水平运动轴X和水平运动轴Y构成，用于带动待测产品在平面内运动；升降运动、倾斜运动轴和俯仰运动轴与工业相机相连接，用于搭载工业相机进行升降、倾斜或俯仰运动，实现对产品表面不同空间角度的拍摄；多方位照明光源，包括在系统内腔环置的不同角度的平板光源、搭载在工业相机镜头上的环形光源以及设置在待测产品下方的背光光源。
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公开(公告)号：CN110108227A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910266641.4
申请日：2019-04-03
Applicant: 天津大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种大量程聚焦式激光点位移测量系统，包括半导体激光二极管、衍射光栅、分光棱镜、1/4波片、准直透镜、物镜、柱面镜、四象限探测器、信号调理电路，采集电路和工控机，四象限探测器检测到的聚焦误差信号依次经过信号调理电路和采集电路后输入到工控机，工控机根据聚焦误差信号测量被测工件表面形貌。其特征在于，所述的物镜为显微物镜，所述的信号调理电路包括低通滤波器，用以滤去1/2倍采样频率以上的信号。
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公开(公告)号：CN110044926A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910325106.1
申请日：2019-04-22
Applicant: 天津大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种透镜缺陷检测装置，包括相机和镜头，显示屏，环形光源，透明平板，电动位移台，电动升降台和电动滑轨几部分，其中，相机连接镜头固定在电动位移台上，随电动位移台能够上下运动，用来调节相机视场大小，固定于镜头正下方，用于辅助多角度打光进行拍摄被测透镜；透明平板固定连接在电动滑轨上，用于放置待检透镜，由电动滑轨搭载透明平板运动进出检测设备；显示屏固定在电动升降台上，用于投影黑白条纹，置于透明平板的下方，由电动升降台带动上下运动，进行投影到被测透镜上。
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公开(公告)号：CN107116707B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201710358028.6
申请日：2017-05-19
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种脆性材料复杂曲面的加工方法，包括：根据待加工面型，选择合适的飞刀主轴回转半径以及合适铣削进给方向，可选择飞刀回转主轴与铣削进给方向平行和飞刀回转主轴与铣削进给方向垂直；根据加工过程特性和材料的切削性能，设计合适切削参数和刀具几何参数，以保证材料单次切削中的去除量控制在塑性去除模式的范围；基于加工参数和刀具几何参数进行飞刀切削和铣削进给的加工路径生成，并在加工前进行路径补偿，补偿后刀具轮廓对该路径遍历后形成加工表面；将待加工工件安装于超精密机床的主轴上，飞刀垂直安装于超精密铣削轴上；对工件进行加工。
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