一种硅与金属复合材料的微结构加工方法

    公开(公告)号:CN102167282A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201110086183.X

    申请日:2011-04-07

    IPC分类号: B81C1/00

    摘要: 本发明公开一种硅与金属复合材料的微结构加工方法,包括:一.硅片与硅衬底上的金属电铸种子层的共熔键合;二.AZ正胶电铸金属图案的光刻;三.第一层硅结构的深度刻蚀;四.电铸金属内装结构;五AZ正胶硅结构图案的光刻;六.第二层硅结构的深度刻蚀;七.去除光刻胶和分离基底,释放出硅与金属复合材料的微结构。有益效果是:由于将功能型硅片键合在具有金属种子层的硅衬底上,在运用反应离子耦合的干法硅深度刻蚀技术刻蚀,电铸金属结构,刻蚀其他的硅结构;该方法获得的微结构尺寸精度高,电铸金属结构完美,因为深度刻蚀的硅侧壁本身具有扇贝型条纹,电铸的金属结构与硅结构互相咬合,不易分离脱落;另外,由于采用深度刻蚀和电铸工艺,重复性好。

    一种手表上条拨针转换机构

    公开(公告)号:CN102262390B

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN201010185784.1

    申请日:2010-05-28

    IPC分类号: G04B27/00

    摘要: 本发明公开了一种手表上条拨针转换机构,包括:调节部分、拉挡部分、转换部分、支撑部分;转换部分包括摇摆齿轴和摇摆齿轴簧,支撑部分包括夹板和盖片;夹板和盖片上分别形成有位置和形状相同的一轨道A,摇摆齿轴的上下两端分别置于夹板和盖片的轨道A内;摇摆齿轴始终与拨针轮部件啮合,并以拨针轮部件为轴心作圆周运动;调节部分包括柄轴、立轮和拨针轮部件;拉挡部件通过拉挡轴定位。有益效果是:由于将时间调整和上弦两种功能结构同时安排在机芯的同一侧,便于控制尺寸,使精度更高;摇摆齿轴在夹板的轨道上分别与不同的功能结构在同一平面内啮合与脱啮,保证传动更加平顺,调节功能时手感更好。

    双擒纵调速机构机械手表的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN101344756B

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN200810054131.2

    申请日:2008-08-15

    IPC分类号: G04D7/06 G04D7/08

    摘要: 本发明公开了一种双擒纵调速机构机械手表的检测方法,包括以下步骤:信号采集和信号分析;所述信号分析包括初始表音信号输入及预处理S1;表音分离及分析S2;自动参数调整S3;表音信号输入及预处理S4;表音分离及分析S2;参数计算S5;屏幕显示。有益效果是:由于将表音信号进行有效分离,并对表音进行分析后通过屏幕进行显示,实现对擒纵调速机构的手表的性能检测,该装置精度高,工作稳定可靠,使用方便。

    双擒纵调速机构机械手表的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN101344756A

    公开(公告)日:2009-01-14

    申请号:CN200810054131.2

    申请日:2008-08-15

    IPC分类号: G04D7/06 G04D7/08

    摘要: 本发明公开了一种双擒纵调速机构机械手表的检测方法,包括以下步骤:信号采集和信号分析;所述信号分析包括初始表音信号输入及预处理S1;表音分离及分析S2;自动参数调整S3;表音信号输入及预处理S4;表音分离及分析S2;参数计算S5;屏幕显示。有益效果是:由于将表音信号进行有效分离,并对表音进行分析后通过屏幕进行显示,实现对擒纵调速机构的手表的性能检测,该装置精度高,工作稳定可靠,使用方便。

    一种手表的指示机构
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102236317B

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201010160206.2

    申请日:2010-04-30

    发明人: 刘连忠 马广礼

    IPC分类号: G04B19/08 G04B13/00

    摘要: 本发明公开了一种手表的指示机构,包括:上分轮、小时轮、旋转定位结构、小时盘轮、小时盘、底板和大垫片、位钉;上分轮与小时轮啮合,小时盘轮以旋转定位结构为轴固定在小时轮上,小时盘铆合在小时盘轮上,与小时盘轮同步旋转,大垫片固定在底板上,位钉安装在大垫片上。有益效果是:由于大垫片始终保持静止,位钉适时地进入或脱离小时盘轮的槽,该结构将小时轮的连续回转运动转换成小时盘轮的单向步进转动,机械效率高,能够平稳、间歇地实现字盘转位,进而实现时间指示功能。

    一种机械报时手表的防水机构

    公开(公告)号:CN101846964B

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200910069527.9

    申请日:2009-07-02

    发明人: 王春永 马广礼

    IPC分类号: G04B21/00

    摘要: 本发明公开了一种机械报时手表的防水机构,包括:固机圈、拨块、拉杆、密封箱、拨把和压簧;固机圈上形成有凹槽,凹槽依次安装有压簧、拉杆、拨块和密封箱;密封箱与固机圈之间设置有密封箱胶圈,并通过紧固件固定在固机圈上凹槽内,密封箱的上端面形成有槽,拨块的一端穿过密封箱上的槽与拉杆连接配合,拨块的另一端与报时启动板接触,密封箱的一侧端封堵,另一侧端安装有拉杆密封圈,拉杆穿过拉杆密封圈进入密封箱内,拉杆与拉杆密封圈滑动密封。有益效果是:由于拉杆始终与拉杆密封圈之间处于滑动密封状态,同时密封箱胶圈将密封箱与固机圈之间密封,实现了“圆轴面密封”的防水结构,达到成品问表防水的目的。

    多层结构的微部件及固化的SU8光刻胶薄片的加工方法

    公开(公告)号:CN102147569A

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN201010569045.2

    申请日:2010-12-02

    摘要: 本发明公开了一种多层结构的微部件及固化的SU8光刻胶薄片的加工方法,包括步骤:a.在金属种子层的基底上匀胶、烘胶;b.对烘干的胶进行紫外线曝光;c.对曝光的光刻胶进行后烘、显影;d.粘贴固化的SU8光刻胶薄片;e.对d中的固化的SU8光刻胶薄片进行曝光;f.对e中的固化的SU8光刻胶薄片进行后烘、显影;g.溅射金属导电层;h.粘贴固化的SU8光刻胶薄片;i.对h中固化的SU8光刻胶薄片进行曝光;j.对i中固化的SU8光刻胶薄片进行后烘、显影;k.电铸。有益效果是:由于使用固化的SU8光刻胶薄片,避免对上一层图案的破坏,对相邻两层之间的图案大小没有限制,该微结构可为后续的装配过程提供更多的便利。

    一种干法深度刻蚀多层硅结构的掩模方法

    公开(公告)号:CN102001618A

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN201010522008.6

    申请日:2010-10-27

    IPC分类号: B81C1/00 G03F7/00

    摘要: 本发明公开了一种干法深度刻蚀多层硅结构的掩模方法,包括以下步骤:A.Az正胶图案的光刻;B.获得Az正胶图案为掩模进行硅结构的深度刻蚀;C.清洁Az掩模及硅结构,涂敷第1层Su8负胶;D.通过对准标记,进行Su8胶的光刻获得下层结构的掩模图案;E.以D所得图案为掩模深度刻蚀下层硅结构;重复上述步骤获得具有较大结构深度的多层硅微结构。有益效果是:由于选用Su8胶作为感应耦合等离子体深度反应刻蚀的掩模,对刻蚀的结构起到了保护作用,有效避免了前次刻蚀结构暴露在等离子体下受离子的直接物理轰击,该方法工艺重复性好,可在同一零件中重复运用,实现三层甚至更多层具有大高宽比的单晶硅微结构。

    一种干法深度刻蚀多层硅结构的掩模方法

    公开(公告)号:CN102001618B

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN201010522008.6

    申请日:2010-10-27

    IPC分类号: G03F7/00 B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种干法深度刻蚀多层硅结构的掩模方法,包括以下步骤:A.Az正胶图案的光刻;B.获得Az正胶图案为掩模进行硅结构的深度刻蚀;C.清洁Az掩模及硅结构,涂敷第1层Su8负胶;D.通过对准标记,进行Su8胶的光刻获得下层结构的掩模图案;E.以D所得图案为掩模深度刻蚀下层硅结构;重复上述步骤获得具有较大结构深度的多层硅微结构。有益效果是:由于选用Su8胶作为感应耦合等离子体深度反应刻蚀的掩模,对刻蚀的结构起到了保护作用,有效避免了前次刻蚀结构暴露在等离子体下受离子的直接物理轰击,该方法工艺重复性好,可在同一零件中重复运用,实现三层甚至更多层具有大高宽比的单晶硅微结构。

    一种机械报时手表的防水机构

    公开(公告)号:CN101846964A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200910069527.9

    申请日:2009-07-02

    发明人: 王春永 马广礼

    IPC分类号: G04B21/00

    摘要: 本发明公开了一种机械报时手表的防水机构,包括:固机圈、拨块、拉杆、密封箱、拨把和压簧;固机圈上形成有凹槽,凹槽依次安装有压簧、拉杆、拨块和密封箱;密封箱与固机圈之间设置有密封箱胶圈,并通过紧固件固定在固机圈上凹槽内,密封箱的上端面形成有槽,拨块的一端穿过密封箱上的槽与拉杆连接配合,拨块的另一端与报时启动板接触,密封箱的一侧端封堵,另一侧端安装有拉杆密封圈,拉杆穿过拉杆密封圈进入密封箱内,拉杆与拉杆密封圈滑动密封。有益效果是:由于拉杆始终与拉杆密封圈之间处于滑动密封状态,同时密封箱胶圈将密封箱与固机圈之间密封,实现了“圆轴面密封”的防水结构,达到成品问表防水的目的。