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公开(公告)号:CN104833410A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201510237610.8
申请日:2015-05-11
申请人: 天津理工大学
IPC分类号: G01H5/00
摘要: 一种对压电材料声表面波速度进行测量的方法,在待测压电材料表面制作声表面波谐振器,包括叉指换能器和反射栅,使得二者的金属指条具有特定周期长度λ;将脉冲激励信号加载到叉指换能器,通过正压电效应生成声表面波;生成的声表面波从中间处的叉指换能器向两侧的反射栅传播,在这一过程中特定频率的声表面波信号会被增强放大并被检测到,将已有的数据代入公式VSAW=λ·f中,计算得出压电材料的声表面波速度。本发明的优点是:该方法可以更准确的对压电材料的声表面波速度进行测量,尤其是能够准确的获得压电薄膜材料的声表面波速度,同时降低了对测试设备精度的要求,该测量方法为后续设计各种声表面波器件提供了巨大的帮助。