公开(公告)号：CN1227276A

公开(公告)日：1999-09-01

申请号：CN99101671.8

申请日：1999-02-11

申请人： 太原理工大学

发明人： 徐重 ,  张弘 ,  秦林 ,  赵晋香 ,  高原

IPC分类号： C23C14/38

摘要： 一种脉冲辉光放电等离子表面冶金技术，属于表面冶金的范畴，其特征在于是在密闭的真空室内放置欲渗金属元素作为源极，被渗工件作为阴极，并放置公共阳极，在源极和阳极之间以及阴极和阳极之间配置两套脉冲直流电源，在一定条件下很好地解决了小孔、窄槽、深孔、渗金属的难题，促使渗金属表面合金含量增高，渗层厚度增加，晶粒细化，源极溅射量增加，而且其参数之间相互影响较小，可以彼此独立地进行调节，灭弧效果好，升温速度快，节省时间及能源。

公开(公告)号：CN1136331C

公开(公告)日：2004-01-28

申请号：CN99101671.8

申请日：1999-02-11

申请人： 太原理工大学

发明人： 徐重 ,  张弘 ,  秦林 ,  赵晋香 ,  高原

IPC分类号： C23C10/00 ,  C23C14/38

摘要： 一种脉冲辉光放电等离子表面渗金属方法，属于表面冶金的范畴，其特征在于在密闭的真空室内放置欲渗金属元素作为源板，被渗工件作为阴极，并放置公共阳极，在源极和阳极之间以及阴极和阳极之间配置两套脉冲直流电源，在一定条件下很好地解决了小孔、窄槽、深孔渗金属的难题，促使渗金属表面合金含量增高，渗层厚度增加，晶粒细化，源极溅射量增加，而且其参数之间相互影响较小，可以彼此独立地进行调节，灭弧效果好，升温速度快，节省时间及能源。