微型高灵敏压力传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103534568B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201280022543.2

    申请日:2012-03-09

    IPC分类号: G01L7/08 A61B5/027 A61B5/0215

    CPC分类号: G01L9/0042 G01L9/0079

    摘要: 公开了一种微型光纤压力传感器设计,其中围绕特定偏压压力的灵敏度被优化。在一实施例中,该压力传感器是法布里-珀罗(FP)传感器,其包括基板;以及安装在该基板上的膜片。该膜片具有中心并包括:包括第一材料的第一层;以及包括第二材料的第二层。该第二层形成圆点或环。该圆点或环安装在该第一层上并以该膜片的中心定中心。该第二材料包括内部预应力,以致使膜片的中心(在圆点的情况下)或者围绕膜片中心的周边区域(在环的情况下)在放松内部预应力时从基片拱起。

    微型高灵敏压力传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103534568A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201280022543.2

    申请日:2012-03-09

    IPC分类号: G01L7/08 A61B5/027 A61B5/0215

    CPC分类号: G01L9/0042 G01L9/0079

    摘要: 公开了一种微型光纤压力传感器设计,其中围绕特定偏压压力的灵敏度被优化。在一实施例中,该压力传感器是法布里-珀罗(FP)传感器,其包括基板;以及安装在该基板上的膜片。该膜片具有中心并包括:包括第一材料的第一层;以及包括第二材料的第二层。该第二层形成圆点或环。该圆点或环安装在该第一层上并以该膜片的中心定中心。该第二材料包括内部预应力,以致使膜片的中心(在圆点的情况下)或者围绕膜片中心的周边区域(在环的情况下)在放松内部预应力时从基片拱起。