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公开(公告)号：CN103597855A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280029137.9
申请日：2012-05-29
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: B06B1/0622 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61B8/4483 , B06B1/0292
Abstract: 超声波元件（20）具备：硅衬底（11）；下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；上部绝缘层（15），形成有分别小于下部电极部（12A）的多个空腔（14）；上部电极层（16），具有隔着各个空腔（14）与各个下部电极部（12A）对置配置的、比下部电极部（12A）小而比空腔（14）大的多个上部电极部（16A）、和多个上部布线部（16B），与检测电容信号的接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17）。
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公开(公告)号：CN103583055A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280026079.4
申请日：2012-05-29
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B8/4483 , A61B8/12 , A61B8/445 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H02N1/002 , H02N1/08
Abstract: US元件（20）具备硅衬底（11）以及在硅衬底（11）上按顺序层叠的：下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；形成多个空腔（14）的上部绝缘层（15）；上部电极层（16），具有多个上部电极部（16A）和多个上部布线部（16B）、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17），并且US元件（20）还具备至少在上述下部布线部（12B）的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子（53）连接的屏蔽电极部（71）。
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公开(公告)号：CN103429166B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201380000905.2
申请日：2013-01-18
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01S7/521 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61B8/4494 , B06B1/02 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本实施方式的超声波振子阵列（40）包括：基板（41）；多个槽状的凹部（41A），其以规定间隔配置在基板（41）的一个面上；元件区域（31），其在基板（41）的上述一个面那一侧配置在上述凹部（41A）彼此之间；挠性膜（42），其覆盖基板（41）和元件区域（31），且脆性比上述基板（41）的脆性低；以及分割槽（28），其具有比上述凹部（41A）的宽度窄的宽度，从上述基板（41）的另一个面到达上述凹部（41A）内的挠性膜（42）。
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公开(公告)号：CN101559420B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200910133912.5
申请日：2009-04-10
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供超声波转换器以及电子设备。该超声波转换器包括超声波振子单元、第1导电层、驻极体膜、绝缘层和第2导电层；上述超声波振子单元配置在基板的一侧表面上，包括下部电极、配置在上述下部电极上的第1空隙部和配置在上述第1空隙部上的上部电极；上述第1导电层配置在上述基板的另一侧表面上，与上述下部电极和上述上部电极中的任意一个电连接；上述驻极体膜配置在上述第1导电层上；上述绝缘层配置在上述驻极体膜上；上述第2导电层配置在上述绝缘层上，与上述下部电极和上述上部电极中的、未与上述第1导电层电连接的电极电连接。
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公开(公告)号：CN103429166A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201380000905.2
申请日：2013-01-18
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01S7/521 , A61B8/12 , A61B8/445 , A61B8/4494 , B06B1/02 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/49005
Abstract: 本实施方式的超声波振子阵列（40）包括：基板（41）；多个槽状的凹部（41A），其以规定间隔配置在基板（41）的一个面上；元件区域（31），其在基板（41）的上述一个面那一侧配置在上述凹部（41A）彼此之间；挠性膜（42），其覆盖基板（41）和元件区域（31），且脆性比上述基板（41）的脆性低；以及分割槽（28），其具有比上述凹部（41A）的宽度窄的宽度，从上述基板（41）的另一个面到达上述凹部（41A）内的挠性膜（42）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101378605B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200810134673.0
申请日：2008-08-15
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社 , 奥林巴斯株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器及其制造方法、超声波诊断装置及超声波显微镜。该超声波换能器的特征在于，包括振子元件和驻极体，该振子元件具有第1电极、隔着空隙部配设于该第1电极上的第2电极，该驻极体对上述第1电极和上述第2电极之间赋予电位差，在从超声波的发送方向看时，上述驻极体的至少一部分配设在与上述振子元件不重叠的区域。
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公开(公告)号：CN101378605A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810134673.0
申请日：2008-08-15
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器及其制造方法、超声波诊断装置及超声波显微镜。该超声波换能器的特征在于，包括振子元件和驻极体，该振子元件具有第1电极、隔着空隙部配设于该第1电极上的第2电极，该驻极体对上述第1电极和上述第2电极之间赋予电位差，在从超声波的发送方向看时，上述驻极体的至少一部分配设在与上述振子元件不重叠的区域。
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公开(公告)号：CN101559420A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910133912.5
申请日：2009-04-10
Applicant: 奥林巴斯医疗株式会社
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明提供超声波转换器以及电子设备。该超声波转换器包括超声波振子单元、第1导电层、驻极体膜、绝缘层和第2导电层；上述超声波振子单元配置在基板的一侧表面上，包括下部电极、配置在上述下部电极上的第1空隙部和配置在上述第1空隙部上的上部电极；上述第1导电层配置在上述基板的另一侧表面上，与上述下部电极和上述上部电极中的任意一个电连接；上述驻极体膜配置在上述第1导电层上；上述绝缘层配置在上述驻极体膜上；上述第2导电层配置在上述绝缘层上，与上述下部电极和上述上部电极中的、未与上述第1导电层电连接的电极电连接。
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公开(公告)号：CN104582586B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380043057.3
申请日：2013-04-17
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B8/12 , A61B8/4444 , A61B8/445 , A61B8/4483 , A61B8/54 , B06B1/0292
Abstract: 超声波单元具备：超声波元件，在由半导体构成的基板之上形成有构成第一电容器的多个超声波构件，所述超声波构件通过将成为接地电位的上部电极与施加驱动信号的下部电极隔着腔体对置配置而成；封装部件，配设所述多个超声波元件，并成为接地电位；以及绝缘部件，配设在所述封装部件与所述超声波元件之间，通过由所述绝缘部件作为间隙而构成第二电容器，与所述第二电容器串联连接的第三电容器的电容比所述第二电容器的电容小。
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公开(公告)号：CN104582586A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043057.3
申请日：2013-04-17
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: A61B8/12 , A61B8/4444 , A61B8/445 , A61B8/4483 , A61B8/54 , B06B1/0292 , A61B8/4494
Abstract: 超声波单元(30)具备：超声波元件(20)，在由半导体构成的基板(11)之上形成有构成第一电容器(71)的多个超声波构件(10)，所述超声波构件(10)通过将成为接地电位的上部电极(16)与施加驱动信号的下部电极(12)隔着腔体(14A)对置配置而成；封装部件(60)，配设所述多个超声波元件(20)，并成为接地电位；以及绝缘部件(63)，配设在所述封装部件(60)与所述超声波元件(20)之间，通过由所述绝缘部件(63)作为间隙而构成第二电容器(72)，与所述第二电容器(72)串联连接而构成的第三电容器(73)的电容比所述第二电容器(72)的电容小。
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