公开(公告)号：CN114294912B

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202210016482.4

申请日：2022-01-07

申请人： 季华恒一(佛山)半导体科技有限公司

发明人： 王慧勇 ,  伍三忠 ,  刘欣 ,  毛朝斌 ,  赵海英 ,  孔倩茵

IPC分类号： F26B9/06 ,  F26B21/00 ,  F26B21/14 ,  F26B25/00

摘要： 本发明属于真空烘箱技术领域，特别涉及一种电加热式烘干系统，其包括：烘干室；加热板，设于所述烘干室内，用于放置待干燥物品，其内部设有气流通道；气路切换组件，与所述气流通道连接，用于使所述气流通道两端与所述烘干室内或所述烘干室外连通；驱动组件，安装在所述气路切换组件上，用于驱动所述气流通道内的气体单向流动；控制器，用于在所述加热板处于加热状态时通过所述气路切换组件控制所述气流通道与所述烘干室内连通，还用于在所述加热板处于冷却状态时通过所述气路切换组件控制所述气流通道与所述烘干室外连通；该电加热式烘干系统不仅能有效地提高电加热式烘干系统温度分布的均匀性，还能有效地提高电加热式烘干系统的冷却速度。

公开(公告)号：CN114294912A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202210016482.4

申请日：2022-01-07

申请人： 季华恒一(佛山)半导体科技有限公司

发明人： 王慧勇 ,  伍三忠 ,  刘欣 ,  毛朝斌 ,  赵海英 ,  孔倩茵

IPC分类号： F26B9/06 ,  F26B21/00 ,  F26B21/14 ,  F26B25/00

摘要： 本发明属于真空烘箱技术领域，特别涉及一种电加热式烘干系统，其包括：烘干室；加热板，设于所述烘干室内，用于放置待干燥物品，其内部设有气流通道；气路切换组件，与所述气流通道连接，用于使所述气流通道两端与所述烘干室内或所述烘干室外连通；驱动组件，安装在所述气路切换组件上，用于驱动所述气流通道内的气体单向流动；控制器，用于在所述加热板处于加热状态时通过所述气路切换组件控制所述气流通道与所述烘干室内连通，还用于在所述加热板处于冷却状态时通过所述气路切换组件控制所述气流通道与所述烘干室外连通；该电加热式烘干系统不仅能有效地提高电加热式烘干系统温度分布的均匀性，还能有效地提高电加热式烘干系统的冷却速度。

公开(公告)号：CN216719866U

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202220154541.X

申请日：2022-01-20

申请人： 季华恒一(佛山)半导体科技有限公司

发明人： 王慧勇 ,  钟新华 ,  伍三忠 ,  赵海英 ,  盛飞龙

IPC分类号： H01J37/317

摘要： 本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种用于SiC高温离子注入的旋转加热靶及离子注入机，用于对衬底进行离子注入工艺，所述旋转加热靶包括基板，所述基板上周向设置有多个用于安装衬底托盘的加热靶座，所述基板上设置有用于带动所述基板旋转的旋转轴，本方案通过设计一种多面式旋转加热靶实现多面衬底同时进行离子注入工艺并提高工艺的稳定性和均匀性，且该旋转加热靶可适用于原有的离子注入机，大大降低成本。