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公开(公告)号：CN118621427A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410645465.6
申请日：2024-05-23
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 一种半导体生长炉晶棒取出设备及方法，包括两个夹持机构、两个夹持机构之间的连接柱、动力机构；夹持机构包括固定环、旋转环、夹紧部、传动部；固定环可允许晶棒穿过，旋转环套转动装于固定环外部，旋转环的内壁与固定环的外壁之间形成夹腔，夹紧部设于固定环内圆面处，传动部设于夹腔内，传动部的一端铰接于旋转环且另一端穿过固定盘并相接于夹紧部；动力机构的输出端分别对应的与两个夹持机构上的旋转环相连接，使动力机构能够带动两个夹持机构上的旋转环同步转动，实现两个夹持机构同时对晶棒的夹紧或释放。在取晶棒时，采用垂直提取方式，受晶棒重力作用，纵向提升力与晶棒轴线处于一条直线，晶棒重心更加稳定，可防止晶棒与单晶炉发生磕碰。
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公开(公告)号：CN117415398A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311385429.2
申请日：2023-10-24
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开一种NTC线切割机张力臂校准装置，包括伸缩组件和测试组件，伸缩组件的一端固定在NTC线切割机的其中一个张力臂上，伸缩组件的另一端固定在上述张力臂对应的限位档杆上；测试组件包括测试金刚线和砝码，测试金刚线依次绕过上述张力臂对应的导向轮、该张力臂顶端的导向轮、以及该张力臂对应的张力传感器导轮，测试金刚线的下端悬挂砝码；伸缩组件在缩短过程中拉动张力臂朝限位档杆转动，使张力臂在伸缩组件和测试组件的平衡下处于垂直状态，即使张力臂处于倾斜状态，也能通过伸缩组件的伸长或缩短将张力臂调整为垂直状态，从而使数值状态下张力臂上安装导向轮处测试金刚线的张力和砝码重力相等，提高校准的准确度。
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公开(公告)号：CN117415683A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311443920.6
申请日：2023-10-31
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种半导体晶棒滚磨机滚磨方法，涉及晶棒滚磨加工技术领域，通过自动滚磨机对晶棒进行加工，将晶棒放置在转运承载装置上，以使晶棒的中心线与夹头的中心线位于同一水平面，再测量晶棒的长度，晶棒长度测量完成后，夹头根据晶棒的长度夹持晶棒，不用再预先在晶棒两端画圆，夹头能准确进行夹持，不会存在倾斜状态，影响后续参考面的加工；然后再测量晶棒的直径；晶棒直径测量完成后，滚磨机计算磨削量，根据得到的磨削量进行晶棒外圆滚磨加工，得到滚磨晶棒；对滚磨晶棒进行参考面测量、加工，计算参考面宽幅，加工准确。
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公开(公告)号：CN118720933A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410984524.2
申请日：2024-07-22
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种防腐蚀的半导体滚磨机，涉及滚磨机技术领域，包括机架、晶锭、夹持组件、防腐罩、喷水管，夹持组件包括驱动部、主轴，驱动部、主轴为两个，驱动部位于机架的侧面，两个主轴位于所述机架内的两端，晶锭位于两个主轴的中间，喷水管位于晶锭的一端，所述驱动部、主轴、晶锭同轴，主轴的一端穿过机架的侧壁与驱动部连接，两个主轴的自由端形成夹持间隙，晶锭位于夹持间隙内被两个主轴夹持，防腐罩安装在主轴上，防腐罩与喷水管的喷水方向相向，在滚磨过程中，晶棒跟随主轴进行转动，通过相向设置的防腐罩，将水流折射回去，防止水及水雾从主轴与机架之间的缝隙进入轴承、轴内，使得轴承不会被腐蚀。
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公开(公告)号：CN118289964A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410418819.3
申请日：2024-04-09
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
IPC分类号： C02F9/00 , C02F1/00 , C02F1/52 , C02F3/30 , C02F3/34 , C02F101/30 , C02F103/34
摘要： 本发明提供一种半导体有机废水零排泥处理方法，涉及半导体废水处理技术领域，先将高浓度有机废水、低浓度有机废水进行混凝沉淀得到预处理废水；再将预处理废水进行微生物水解酸化，在水解酸化过程中同时加入氮肥、磷肥，得到第一处理废水，将第一处理废水进行微生物接触氧化，得到第二处理废水，以使COD降低；将第二处理废水进行沉淀，泥水分离后，废水外排，污泥回流回用；根据出水的指标控制氮肥、磷肥的加入量，使得微生物数量处于动态平衡中，以使微生物在有效降解废水中有机物的同时还不会因为微生物菌种的大量增值导致剩余污泥产生，以实现剩余污泥量的排放量降低甚至为零，进而大幅减少污泥处理成本。
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公开(公告)号：CN117415683B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202311443920.6
申请日：2023-10-31
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种半导体晶棒滚磨机滚磨方法，涉及晶棒滚磨加工技术领域，通过自动滚磨机对晶棒进行加工，将晶棒放置在转运承载装置上，以使晶棒的中心线与夹头的中心线位于同一水平面，再测量晶棒的长度，晶棒长度测量完成后，夹头根据晶棒的长度夹持晶棒，不用再预先在晶棒两端画圆，夹头能准确进行夹持，不会存在倾斜状态，影响后续参考面的加工；然后再测量晶棒的直径；晶棒直径测量完成后，滚磨机计算磨削量，根据得到的磨削量进行晶棒外圆滚磨加工，得到滚磨晶棒；对滚磨晶棒进行参考面测量、加工，计算参考面宽幅，加工准确。
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公开(公告)号：CN116872365B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202311083883.2
申请日：2023-08-25
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种高效截断碳板的截断方法，涉及碳板截断技术领域，将圆柱形工件与树脂板进行粘接，组成承载工装；将碳板可拆卸固定在树脂板上，组成待切割工件，将待切割工件放置在截断机的V形槽上，且圆柱形工件与截断机的V形槽接触，将截断机压紧装置压合在碳板的上表面；将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离，打开切削水，驱动主轴匀速旋转，再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板；碳板切割完成，关闭截断机；通过使用晶棒的截断机对碳板进行截断，提高截断效率，减少碳板崩边、破裂的概率，且截断机的切割头的头升降轴进行垂直升降，使得碳板的截断端面平整，误差小，不会对工作人员造成不适。
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公开(公告)号：CN117301332A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311430955.6
申请日：2023-11-27
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种具有夹持线头功能的多线切割机，线切割机壳体上设有夹持装置，夹持装置包括芯轴、弹性夹片、气缸以及防尘罩，所述弹性夹片一端与所述芯轴固定连接，所述防尘罩位于弹性夹片外侧，所述气缸设置在芯轴的一端；本发明通过压缩空气管分别与气缸以及出气口连通，一方面使气缸能够带动弹性夹片对钢线进行夹紧，另一方面对弹性夹片固定处的钢线线头进行清灰，保持钢线线头的洁净，本装置能够有效的解决现有线切割机在更换线轮时，使用胶带固定钢线线头容易掉落且不易操作的问题，可以有效便捷的固定钢线线头，便于现场人员进行操作，提高工作效率等优点。
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公开(公告)号：CN116872365A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202311083883.2
申请日：2023-08-25
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种高效截断碳板的截断方法，涉及碳板截断技术领域，将圆柱形工件与树脂板进行粘接，组成承载工装；将碳板可拆卸固定在树脂板上，组成待切割工件，将待切割工件放置在截断机的V形槽上，且圆柱形工件与截断机的V形槽接触，将截断机压紧装置压合在碳板的上表面；将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离，打开切削水，驱动主轴匀速旋转，再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板；碳板切割完成，关闭截断机；通过使用晶棒的截断机对碳板进行截断，提高截断效率，减少碳板崩边、破裂的概率，且截断机的切割头的头升降轴进行垂直升降，使得碳板的截断端面平整，误差小，不会对工作人员造成不适。
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公开(公告)号：CN118952486A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411353372.2
申请日：2024-09-26
申请人： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要： 一种切片机上料夹紧工装、切片机上料夹紧工装、晶锭上料装置及切片机，包括基板、支撑部、夹紧组件；支撑部沿基板的中线对称设在基板的下端面上；基板的下端面设有第一定位凸起、第二定位凸起，第二定位凸起的下端面上开设有气密检测孔；夹紧组件包括连接端头、伸缩部；伸缩部设于基板的上端面，伸缩部的下端贯穿基板，连接端头位于第一定位凸起与第二定位凸起之间且相接于伸缩部的下端。本发明在使用中，无需人工进行紧固，降低人员劳动强度；采用连接端头拉住晶锭接着工件板紧贴基板下端面，利用气密性检测孔检验晶锭接着工件板与基板之间是否处于紧密贴合，不仅能够保证夹紧的稳定性，而且能够确保晶锭的定位精度及切片质量。
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