一种能提升冶金级硅片少子寿命的扩散工艺

    公开(公告)号:CN103531449B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310522023.4

    申请日:2013-10-29

    IPC分类号: H01L21/228 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及物理冶金级硅太阳能电池制造过程中的扩散工艺,尤其是一种能提升冶金级硅片少子寿命的扩散工艺。其特点是,包括如下步骤:(1)低温进舟、初步升温;(2)通源扩散;(3)恒温推进;(4)降温、退舟。本发明的有益效果是:1.采用喷淋式扩散可节省磷源,同时提高扩散结深的均匀性,并且适合做高方阻;2.针对物理冶金硅的特性,采用双面磷吸杂,增强吸杂效果,提升硅片少子寿命;3.通过温度与时间的协调,有效改善扩散工艺;4.控制通氧与通源量的比例,减少由于直接扩散引起的缺陷,改善PN结结深,也可改善表面钝化效果,提高短路电流与开路电压,进而提升冶金硅太阳能电池转换效率及成品率。

    一种能提升冶金级硅片少子寿命的扩散工艺

    公开(公告)号:CN103531449A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201310522023.4

    申请日:2013-10-29

    发明人: 杨利利 杨佳 武建

    IPC分类号: H01L21/228 H01L31/18

    摘要: 本发明涉及物理冶金级硅太阳能电池制造过程中的扩散工艺,尤其是一种能提升冶金级硅片少子寿命的扩散工艺。其特点是,包括如下步骤:(1)低温进舟、初步升温;(2)通源扩散;(3)恒温推进;(4)降温、退舟。本发明的有益效果是:1.采用喷淋式扩散可节省磷源,同时提高扩散结深的均匀性,并且适合做高方阻;2.针对物理冶金硅的特性,采用双面磷吸杂,增强吸杂效果,提升硅片少子寿命;3.通过温度与时间的协调,有效改善扩散工艺;4.控制通氧与通源量的比例,减少由于直接扩散引起的缺陷,改善PN结结深,也可改善表面钝化效果,提高短路电流与开路电压,进而提升冶金硅太阳能电池转换效率及成品率。

    扩散后方块电阻和少子寿命异常硅片的处理办法

    公开(公告)号:CN103745940B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201310720135.0

    申请日:2013-12-24

    IPC分类号: H01L21/66

    摘要: 本发明涉及一种扩散后方块电阻(简称方阻)和少子寿命异常硅片的处理办法,该方法用于处理因扩散不当而不合质量标准的硅片。其特点是,包括如下步骤:(1)首先对单晶硅片单面扩散后方块电阻和少子寿命异常硅片进行分类,第一类为方阻和少子寿命分别为90?130Ω/sq和0?2μs,第二类为方阻和少子寿命分别为75?90Ω/sq和4?20μs,第三类为方阻和少子寿命分别为40?50Ω/sq和4?20μs,第四类为方阻和少子寿命分别为60?75Ω/sq和2?4μs;(2)对第一类硅片进行如下处理:按原扩散工艺再重复进行一次扩散。采用本发明的方法后,省去了重新清洗制绒的环节,大大节约了返工成本、时间。

    扩散后方块电阻和少子寿命异常硅片的处理办法

    公开(公告)号:CN103745940A

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201310720135.0

    申请日:2013-12-24

    IPC分类号: H01L21/66

    CPC分类号: H01L21/02032 H01L21/67271

    摘要: 本发明涉及一种扩散后方块电阻(简称方阻)和少子寿命异常硅片的处理办法,该方法用于处理因扩散不当而不合质量标准的硅片。其特点是,包括如下步骤:(1)首先对单晶硅片单面扩散后方块电阻和少子寿命异常硅片进行分类,第一类为方阻和少子寿命分别为90-130Ω/sq和0-2μs,第二类为方阻和少子寿命分别为75-90Ω/sq和4-20μs,第三类为方阻和少子寿命分别为40-50Ω/sq和4-20μs,第四类为方阻和少子寿命分别为60-75Ω/sq和2-4μs;(2)对第一类硅片进行如下处理:按原扩散工艺再重复进行一次扩散。采用本发明的方法后,省去了重新清洗制绒的环节,大大节约了返工成本、时间。

    丝网印刷用网版防护装置

    公开(公告)号:CN203752664U

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201320859491.6

    申请日:2013-12-24

    IPC分类号: B41F15/34

    摘要: 本实用新型涉及一种丝网印刷用网版防护装置。包括网版旁的印刷框,其特点是:在所述印刷框上方的正面、左面和右面均分别安装有真空吸盘(1),在该印刷框正面、左面和右面的真空吸盘(1)上均粘贴有胶条(2),在胶条(2)上粘贴有防护网(3),并且该防护网(3)紧贴印刷框外侧。本实用新型采用低成本、可视性和透气性较好的防护纱,可以很好的防止碎片的溅入,减少因碎片溅入网版内造成的爆版以及造成的浆料浪费等损失,有效提高网版的使用寿命。