公开(公告)号：CN112665935A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202011488919.1

申请日：2020-12-16

申请人： 宁波大学 ,  宁波格特威电机有限公司

发明人： 徐泽宇 ,  陶卫东 ,  龚逸枫 ,  黄灵慧 ,  余玲燕 ,  贺正毅 ,  陈从林 ,  陈显兵 ,  孟祥俊

IPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/30 ,  G01N21/84

摘要： 本发明涉及一种微结构的制备方法，将微结构制备在盖玻片上，并在盖玻片上同时制备能够分辨盖玻片正反面方向的特殊标记图案。本发明中的微结构的制备方法，在盖玻片上的微结构制备，面积小且薄，方便了其移动、放置，为批量观察微结构提供了基础。特殊标记图案方便后续观察微结构时对盖玻片的准确放置。本发明还涉及一种微结构的批量观察方法，在样品台上放置多个制备有微结构的盖玻片，通过移动样品台实现对微结构的批量观察。该微结构观察方法，提高了微结构的观察效率。本发明还涉及微结构观察装置，为实现前述微结构观察方法提供了设备基础，能够实现多个微结构的批量观察，实现了微结构的快速、高效观察。