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公开(公告)号:CN111115568A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN202010016265.6
申请日:2020-01-08
申请人: 宁波大学 , 宁波格特威电机有限公司
IPC分类号: B81C1/00 , B81B3/00 , G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
摘要: 本发明涉及一种制备抗倒伏微结构的加工方法,制备待加工的目标微结构体的同时,在目标微结构体的下方同时制备与基底有更大固结面积且与目标微结构体一体的支撑微结构体。本发明中的制备抗倒伏微结构的加工方法,在目标微结构体的下方同时制备与基底有更大固结面积的支撑微结构体,如此提高了微结构在基底上的连接牢固性,特别对于与基底的接触面积小且高度较高的目标微结构体,由于支撑微结构体与基底的可靠连接,以及支撑微结构体与目标微结构体一体连接,可有效避免目标微结构体相对于基底发生倒伏的情况。
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公开(公告)号:CN112665935A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN202011488919.1
申请日:2020-12-16
申请人: 宁波大学 , 宁波格特威电机有限公司
摘要: 本发明涉及一种微结构的制备方法,将微结构制备在盖玻片上,并在盖玻片上同时制备能够分辨盖玻片正反面方向的特殊标记图案。本发明中的微结构的制备方法,在盖玻片上的微结构制备,面积小且薄,方便了其移动、放置,为批量观察微结构提供了基础。特殊标记图案方便后续观察微结构时对盖玻片的准确放置。本发明还涉及一种微结构的批量观察方法,在样品台上放置多个制备有微结构的盖玻片,通过移动样品台实现对微结构的批量观察。该微结构观察方法,提高了微结构的观察效率。本发明还涉及微结构观察装置,为实现前述微结构观察方法提供了设备基础,能够实现多个微结构的批量观察,实现了微结构的快速、高效观察。
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公开(公告)号:CN111215743A
公开(公告)日:2020-06-02
申请号:CN202010174541.1
申请日:2020-03-13
申请人: 宁波大学 , 宁波格特威电机有限公司
IPC分类号: B23K26/00 , B23K26/046
摘要: 本发明涉及一种飞秒激光双光子微加工装置,包括控制器;五维运动平台,与控制器通信连接;飞秒激光器,设置在五维运动平台上;光开关,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,通过移动来阻断和打开激光传播;三维运动平台,与控制器通信连接;样品台,设置在三维运动平台,用于放置待加工的样品;激光反射镜,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上;聚焦透镜,设置在样品台上用于放置样品的位置上方,用于聚焦激光;摄像头,设置在聚焦透镜的上方。该飞秒激光双光子微加工装置能够控制飞秒激光器进行运动,减少反射镜片数量,降低光路调整的复杂度。
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公开(公告)号:CN211708363U
公开(公告)日:2020-10-20
申请号:CN202020317654.8
申请日:2020-03-13
申请人: 宁波大学 , 宁波格特威电机有限公司
IPC分类号: B23K26/00 , B23K26/046
摘要: 本实用新型涉及一种飞秒激光双光子微加工装置,包括控制器;五维运动平台,与控制器通信连接;飞秒激光器,设置在五维运动平台上;光开关,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,通过移动来阻断和打开激光传播;三维运动平台,与控制器通信连接;样品台,设置在三维运动平台,用于放置待加工的样品;激光反射镜,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上;聚焦透镜,设置在样品台上用于放置样品的位置上方,用于聚焦激光;摄像头,设置在聚焦透镜的上方。该飞秒激光双光子微加工装置能够控制飞秒激光器进行运动,减少反射镜片数量,降低光路调整的复杂度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN211946252U
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN202020030067.0
申请日:2020-01-08
申请人: 宁波大学 , 宁波格特威电机有限公司
IPC分类号: B81C1/00 , B81B3/00 , G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
摘要: 本实用新型涉及一种抗倒伏微结构,包括设置在基底上方的目标微结构体,其特征在于:还包括固结在基底和目标微结构体之间的支撑微结构体,所述支撑微结构体的上表面与目标微结构体的连接面一体连接,所述支撑微结构体的下表面与基底相固结,并且支撑微结构体与基底的固结面积大于目标微结构体的连接面的固结面积。本实用新型中的抗倒伏微结构,在目标微结构体的下方同时制备与基底有更大固结面积的支撑微结构体,如此提高了微结构在基底上的连接牢固性,特别对于与基底的连接面积小且高度较高的目标微结构体,由于支撑微结构体与基底的可靠连接,以及支撑微结构体与目标微结构体一体连接,可有效避免目标微结构体相对于基底发生倒伏的情况。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN109336049B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN201811185302.5
申请日:2018-10-11
申请人: 宁波大学
IPC分类号: B81C3/00
摘要: 本发明涉及一种微结构操作方法,在显微镜的观察下,利用毛细管靠近微结构,并通过注射器为毛细管提供的吸力、推力,带动微结构附近的液体介质流动,进而带动微结构准确的完成拾取、移动、释放、装配操作。该微结构操作方法在普通的显微镜下即能完成微结构操作,操作简单方便。本发明还涉及一种微结构操作装置,包括显微镜、毛细管、位于显微镜旁的毛细管驱动机构,通过软管与毛细管相连接的注射器,毛细管安装在毛细管驱动机构上并在毛细管驱动机构的驱动下进行三维方向上的运动,该微结构操作装置结构简单、成本低、易于加工制作。
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公开(公告)号:CN111088764B
公开(公告)日:2021-05-14
申请号:CN201911335926.5
申请日:2019-12-23
申请人: 宁波大学
摘要: 本发明公开了一种测重破胎装置,包括杠杆板、支点、测重板、下压杆、破胎板、第一支撑板、启动针、破胎针、锁定板、锁定弹簧和第二支撑板。车辆行进至测重板上时,能够依据车重控制破胎针的状态,当车辆超重时破胎针外露,并能够进行锁定,从而在车辆行进至破胎板时进行破胎,并且最终停留在复位板处等待处理;车辆未超重情况下能够顺利从测重破胎装置上离开;整个设备采用纯机械控制,不需要程序,故障率较低。
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公开(公告)号:CN111088764A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201911335926.5
申请日:2019-12-23
申请人: 宁波大学
摘要: 本发明公开了一种测重破胎装置,包括杠杆板、支点、测重板、下压杆、破胎板、第一支撑板、启动针、破胎针、锁定板、锁定弹簧和第二支撑板。车辆行进至测重板上时,能够依据车重控制破胎针的状态,当车辆超重时破胎针外露,并能够进行锁定,从而在车辆行进至破胎板时进行破胎,并且最终停留在复位板处等待处理;车辆未超重情况下能够顺利从测重破胎装置上离开;整个设备采用纯机械控制,不需要程序,故障率较低。
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公开(公告)号:CN110133836A
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201910471305.3
申请日:2019-05-31
申请人: 宁波大学
摘要: 本发明涉及一种微结构固定荧光粉末的方法,利用微结构加工装置将负性光刻玻璃胶加工为具有放置腔的微结构体;清洗并干燥处理微结构体;将微结构体置于显微镜下,利用探针拾取荧光粉末,并放置在微结构体放置腔的敞口前,利用微距驱动平台驱动加热的放置针,利用放置针推动荧光粉末进入至微结构体的放置腔内以实现荧光粉末在微结构体内的固定。该微结构固定荧光粉末的方法操作简单,能够有效固定荧光粉末,进而使得荧光粉末得以方便应用。本发明还涉及一种微结构固定荧光粉末的装置,包括显微镜、微结构体、探针、放置针、放置针驱动机构、加热器,设置在放置针驱动机构上并与放置针加热连接。该微结构固定荧光粉末的装置操作简单,成本低。
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公开(公告)号:CN109188869A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201811147993.X
申请日:2018-09-29
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本发明涉及一种在不透明基底上制备微结构的方法,该方法引入螺旋塔图案,该螺旋塔图案为由标示连续排列成的阵列,该阵列在水平面的投影中,由左向右横向排列n个标示后,朝上竖向排列n个标示,接着由右向左横向排列n个标示,然后向下竖向排列n-1个标示…依次循环而构成回形图,各相邻标示在水平投影上的间距均为a,且各标示分别比按排列顺序位于其前面的标示竖向上升高度b,其中5≤n≤8,从而能在不同高度尝试刻写,进而找到合适的焦点起始位置,继而能实现在不透明基底上的准确光刻。本发明加工速度快,精度高,灵活性强,可在不透明基底上制备各种微结构,且制备过程简单易操作。
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