间隙测量方法
    1.
    发明公开
    间隙测量方法 审中-实审

    公开(公告)号:CN118654623A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202411127656.X

    申请日:2024-08-16

    IPC分类号: G01B21/16

    摘要: 本发明提供一种间隙测量方法,涉及间隙测量技术领域。间隙测量方法包括摆正设定装置的第一结构并使所述第一结构的第一面朝向上方设置;在所述第一结构的所述第一面处布置标记单元;在所述设定装置的第二结构的第二面处布置待标记单元;按照预设定位方式对所述第二结构进行定位;获取所述待标记单元被所述标记单元标记的被标记部分的顶端与所述待标记单元的底端之间的第一距离;根据所述第一距离、所述标记单元的顶端与所述第一面之间的相对位置信息以及所述待标记单元的底端与所述第二面之间的相对位置信息得到第二距离,所述第二距离用于表征按照所述预设定位方式对所述第二结构进行定位时所述第一面和所述第二面之间的距离。