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公开(公告)号：CN105547157B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201610128424.5
申请日：2016-03-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国家电网公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种三维微纳米触发式探头，其特征是由测头单元和测量单元构成：测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片，在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片，形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构；在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜，在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针；由激光器和四象限探测器构成测量单元，利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、调节灵活的优势。
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公开(公告)号：CN106840032A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710224295.4
申请日：2017-04-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国网安徽省电力公司电力科学研究院 , 国网安徽省电力公司检修公司 , 国家电网公司
Inventor： 程琳 , 李瑞君 , 李淼 , 程真英 , 李奕铭 , 周斌 , 王晓波 , 潘丽珠 , 汪晓 , 占晓友 , 李永 , 张雅雯 , 吴红 , 宣玉荣 , 闫达 , 唐毅 , 姚方方 , 徐鑫 , 王蕾
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明涉及MEMS器件测量技术领域，具体是涉及一种三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置，探头由可视化模块和测量模块构成，可视化模块由白光LED、第一准直透镜、非偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、第二准直透镜、聚焦透镜、偏振片、场透镜和CCD相机组成；测量模块由激光器、光栅、偏振分光棱镜及四分之一波片、圆柱透镜、光电集成电路和四象限传感器组成。探头基于深紫外光源以及象散原理和激光反射能量法，该探头在三轴方向的分辨率均达到1nm，触发重复性均小于30nm，以满足MEMS器件测量的需要，尤其擅长测量带有精细边缘特征的器件。同时具有体积小、精度高、调试简单、装配方便、造价低等优点。
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公开(公告)号：CN105698661A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610128438.7
申请日：2016-03-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国家电网公司
Abstract: 本发明公开了一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是在探头壳体中设置测头单元和测量单元；测头单元是以悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中形成悬浮结构，在悬浮片的中心通孔中固定安装带有测球的探针，探针自底座的底部端口中探出，并且能够不受底座的底部端口的干扰而摆动；测量单元是设置在悬浮片的各悬臂上的电容传感器；本发明利用电容传感器的输出信号作为探头的检测信号，能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性和低成本的优势。
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公开(公告)号：CN105547157A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610128424.5
申请日：2016-03-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国家电网公司
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种三维微纳米触发式探头，其特征是由测头单元和测量单元构成：测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片，在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片，形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构；在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜，在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针；由激光器和四象限探测器构成测量单元，利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、调节灵活的优势。
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公开(公告)号：CN205373641U
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201620173147.5
申请日：2016-03-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国家电网公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种三维微纳米触发式探头，其特征是由测头单元和测量单元构成：测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片，在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片，形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构；在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜，在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针；由激光器和四象限探测器构成测量单元，利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本实用新型能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、调节灵活的优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206832199U
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201720359317.3
申请日：2017-04-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国网安徽省电力公司电力科学研究院 , 国网安徽省电力公司检修公司 , 国家电网公司
Inventor： 程琳 , 李瑞君 , 李淼 , 程真英 , 李奕铭 , 周斌 , 王晓波 , 潘丽珠 , 汪晓 , 占晓友 , 李永 , 张雅雯 , 吴红 , 宣玉荣 , 闫达 , 唐毅 , 姚方方 , 徐鑫 , 王蕾
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型涉及MEMS器件测量技术领域，具体是涉及一种三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置，探头由可视化模块和测量模块构成，可视化模块由白光LED、第一准直透镜、非偏振分光棱镜、偏振分光棱镜、第二准直透镜、聚焦透镜、偏振片、场透镜和CCD相机组成；测量模块由激光器、光栅、偏振分光棱镜及四分之一波片、圆柱透镜、光电集成电路和四象限传感器组成。探头基于深紫外光源以及象散原理和激光反射能量法，该探头在三轴方向的分辨率均达到1nm，触发重复性均小于30nm，以满足MEMS器件测量的需要，尤其擅长测量带有精细边缘特征的器件。同时具有体积小、精度高、调试简单、装配方便、造价低等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205403689U
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201620173146.0
申请日：2016-03-07
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 合肥工业大学 , 国家电网公司
Abstract: 本实用新型公开了一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是在探头壳体中设置测头单元和测量单元；测头单元是以悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中形成悬浮结构，在悬浮片的中心通孔中固定安装带有测球的探针，探针自底座的底部端口中探出，并且能够不受底座的底部端口的干扰而摆动；测量单元是设置在悬浮片的各悬臂上的电容传感器；本实用新型利用电容传感器的输出信号作为探头的检测信号，能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性和低成本的优势。
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公开(公告)号：CN205049799U
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201520748853.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院 , 国网安徽省电力公司培训中心 , 国家电网公司
IPC: G02B7/198
Abstract: 本实用新型公开了一种高稳定性平面反射镜夹持微调座，包括上平板、下平板，上平板与下平板之间垫设有四个挠性体，上平板一侧壁上开有两个贯通的螺纹孔，下平板上开有四个内螺纹孔，下平板侧壁开有两个不贯通的螺纹孔，上平板上端面具有夹持槽。本实用新型挠性体的稳定性好，长时间使用不会发生塑性变形，且调整精度高。
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公开(公告)号：CN104008433A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410242690.1
申请日：2014-06-03
Applicant: 国家电网公司 , 国网安徽省电力公司培训中心
Abstract: 本发明公开了一种基于贝叶斯动态模型的中长期电力负荷预测方法，根据中长期电力负荷数据的内在变化规律，建立了具有多项式回归和指数结构的贝叶斯动态模型，根据贝叶斯理论，由先验信息和测量样本，实时地统计推断下一年的电力负荷值，实现小样本容量中长期电力负荷的动态递推预测。该方法要求的样本数据较少，而且可以通过模型监控和主观干预的形式，实时地跟踪当前的电力负荷的变化规律，这将使电力负荷预测结果更可靠，为提高中长期电力负荷预测精度提供了一条有效途径。
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公开(公告)号：CN102175198B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201110027424.3
申请日：2011-01-26
Applicant: 安徽电气工程职业技术学院
Abstract: 本发明公开了接触扫描探头的等张力悬吊机构：具有一固定环，固定环内通过对称的四条线悬吊有悬浮片，悬浮片中心固定有扫描探针，扫描探针前端具有球形头，悬浮片上面贴有若干高精密平面反射镜。所述的高精密平面反射镜为2-5片。本发明通过在固定环内通过对称的四条线悬吊有悬浮片，悬浮片中心固定有扫描探针，悬浮片上面贴有若干高精密平面反射镜的结构，可以将扫描探针的空间位移转化成平面镜在竖直方向的移动和绕悬线的转动。平面反射镜的位移和转角可以通过布置在平面反射镜上方的传感器测得，经过换算即可得知扫描探针的位移，从而实现测量。
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