三维微纳米触发式探头
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105547157B

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201610128424.5

    申请日:2016-03-07

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 本发明公开了一种三维微纳米触发式探头,其特征是由测头单元和测量单元构成:测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片,在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片,形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构;在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜,在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针;由激光器和四象限探测器构成测量单元,利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果,同时具有高稳定性、调节灵活的优势。

    三维微纳米触发式探头
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105547157A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201610128424.5

    申请日:2016-03-07

    IPC分类号: G01B11/00

    CPC分类号: G01B11/007

    摘要: 本发明公开了一种三维微纳米触发式探头,其特征是由测头单元和测量单元构成:测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片,在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片,形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构;在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜,在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针;由激光器和四象限探测器构成测量单元,利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果,同时具有高稳定性、调节灵活的优势。

    三维微纳米触发式探头
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205373641U

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201620173147.5

    申请日:2016-03-07

    IPC分类号: G01B11/00

    摘要: 本实用新型公开了一种三维微纳米触发式探头,其特征是由测头单元和测量单元构成:测头单元是在圆环座上设置呈“十”字的簧片,在簧片上固定设置呈“十”字的悬浮片,形成悬浮片在圆环座上的悬浮结构;在悬浮片的上端面分别固定设置各分光反射棱镜和楔形棱镜,在悬浮片的中心贯通孔中固定安装探针;由激光器和四象限探测器构成测量单元,利用四象限探测器获得位于探针前端的测球的位移信号。本实用新型能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果,同时具有高稳定性、调节灵活的优势。