公开(公告)号：CN102867885B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201210195851.7

申请日：2012-06-04

申请人： 官有志

发明人： 官有志

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： F26B5/005 ,  F26B21/14 ,  F26B25/10 ,  F26B2200/08 ,  Y10T428/249948 ,  Y10T428/249958

摘要： 本发明涉及使硅颗粒干燥并且回收溶剂。用于干燥硅颗粒的设备具有溶剂喷射喷嘴、溶剂排出设备、气体入口以及气体排出设备。例如在酸性蚀刻以及去离子水冲洗之后要进行上述干燥。干燥设备是封闭系统，具有容纳溶剂供应管以及排出通风系统的盖。该封闭系统设计可形成惰性环境中的高效低温干燥系统。通过利用低温度，该设备可处理可种不同的颗粒尺寸、防止颗粒表面的氧化物生成，并且允许重新使用溶剂。