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公开(公告)号：CN109148327A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810623331.9
申请日：2018-06-15
申请人： 三星电子株式会社
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67034 , B08B3/08 , B08B2203/007 , F26B3/00 , F26B5/005 , H01L21/02057 , H01L21/02101 , H01L21/6704 , H01L21/67051 , H01L21/67109 , H01L21/67173 , H01L21/67219 , H01L21/67248
摘要： 公开了一种基板干燥装置、制造半导体器件的设备以及干燥基板的方法。基板干燥装置包括：腔室，其被配置为以第一温度干燥基板；第一贮存器，其被配置为储存处于小于第一温度的第二温度的第一超临界流体；第二贮存器，其被配置为储存处于大于第一温度的第三温度的第二超临界流体；以及供应单元，其连接在腔室与第一贮存器和/或第二贮存器之间。供应单元被配置为向腔室供应第一超临界流体和第二超临界流体。
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公开(公告)号：CN105027268B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201480010842.3
申请日：2014-02-28
申请人： 芝浦机械电子株式会社
IPC分类号： H01L21/304 , F26B3/28 , F26B5/16
CPC分类号： F26B3/30 , F26B3/28 , F26B5/005 , F26B7/00 , F26B11/18 , H01L21/02057 , H01L21/67034 , H01L21/67115
摘要： 实施方式涉及的基板处理装置(1)具备：支撑基板W的工作台(4)；向该工作台(4)上的基板W的表面供给挥发性溶剂的溶剂供给部(8)；对供给有挥发性溶剂的基板W照射光，并作为对基板W进行加热以使在供给有该挥发性溶剂的基板W的表面产生气层并使挥发性溶剂成为液体珠的加热部而发挥作用的照射部(10)。由此，能够抑制图案的倒塌并且进行良好的基板干燥。
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公开(公告)号：CN102867885B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210195851.7
申请日：2012-06-04
申请人： 官有志
发明人： 官有志
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： F26B5/005 , F26B21/14 , F26B25/10 , F26B2200/08 , Y10T428/249948 , Y10T428/249958
摘要： 本发明涉及使硅颗粒干燥并且回收溶剂。用于干燥硅颗粒的设备具有溶剂喷射喷嘴、溶剂排出设备、气体入口以及气体排出设备。例如在酸性蚀刻以及去离子水冲洗之后要进行上述干燥。干燥设备是封闭系统，具有容纳溶剂供应管以及排出通风系统的盖。该封闭系统设计可形成惰性环境中的高效低温干燥系统。通过利用低温度，该设备可处理可种不同的颗粒尺寸、防止颗粒表面的氧化物生成，并且允许重新使用溶剂。
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公开(公告)号：CN101772368B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN200880017951.2
申请日：2008-03-26
申请人： 利夫公司
发明人： 拓比安·沃尔德
CPC分类号： F26B5/005 , B01D21/003 , B01D21/0039 , B01D21/01 , B01D21/2427 , B01D21/2461 , B01D21/305 , B01D21/32 , B01D21/34 , B01D2221/08 , C02F1/56 , C02F11/14 , C02F2201/008 , F26B17/18 , F26B19/005 , F26B2200/18
摘要： 本发明涉及一种用于干物质含量低于15％的疏浚物质浓缩设备，包括设置有至少一个疏浚物质输入导管(5)、用于净化水的第一出口(8)和用于淤泥的第二出口(9)的罐(2)；所述罐进一步包括混合室(3)，疏浚物质输入导管(5)通向此，以及沉降室(4)，其内设置有第一出口(8)和第二出口(9)。混合室(3)和沉降室(4)的流体相通。
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公开(公告)号：CN102307636A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080007673.X
申请日：2010-02-04
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： F26B5/005
摘要： 本发明提供一种脱水方法，该脱水方法不会伴随着物品在浸渍槽间的移动而产生污垢，即使是复杂形状的物品脱水性能也不会下降，可抑制浸渍槽中的脱水溶剂发生水的悬浮，能用单个浸渍槽长时间连续地维持稳定的脱水性能。该物品的脱水方法使用含醇类的氟类溶剂作为脱水溶剂，使浸渍槽中的脱水溶剂处于沸腾状态，使脱水溶剂蒸气在浸渍槽上部冷凝，将冷凝的脱水溶剂在浸渍槽外除去水后返回至浸渍槽，将附着有水的物品浸渍于浸渍槽内的呈沸腾状态的脱水溶剂中来除去水，然后取出。
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公开(公告)号：CN1989275B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200580025132.9
申请日：2005-07-18
申请人： 阿克马法国公司
CPC分类号： C11D7/261 , C07C19/03 , C07C19/08 , C07C31/08 , C07C31/10 , C07C31/12 , C11D7/28 , C11D7/5018 , C11D11/0041 , C23G5/02803 , C23G5/02806 , D06L1/02 , F26B5/005
摘要： 本发明涉及溶剂领域。更具体地说，本发明涉及1，1，1，3，3-五氟丁烷(HFC-365mfc)组合物。本发明还涉及溶解油的方法。
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公开(公告)号：CN101120080B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200580025131.4
申请日：2005-07-18
申请人： 阿克马法国公司
发明人： 让-皮埃尔·拉利尔
CPC分类号： C11D7/261 , C07C19/08 , C07C21/04 , C11D7/28 , C11D7/5018 , C11D7/5022 , C11D7/5081 , C11D11/0041 , C23G5/02803 , C23G5/02806 , F26B5/005
摘要： 本发明涉及溶剂领域。更具体地说，本发明涉及低温下溶解油的方法。本发明还涉及一种新颖的1，1，1，3，3-五氟丁烷(HFC-365mfc)和1，1，1，2，3，4，4，5，5，5-十氟戊烷(HFC-43-10mee)的组合物。
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公开(公告)号：CN102597674A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080042811.8
申请日：2010-08-13
申请人： 阿尔比-加莫国立高等工业技术与矿业学校
摘要： 本发明涉及一种用于通过油炸处理湿的生物质的设备，其包括第一桶(1)，所述第一桶包括保持生物质的油炸温度的第一油槽(108)；以及第二桶(2)，所述第二桶容纳温度低于所述油炸温度的第二油槽(211)，第一桶和第二桶内的空间是连通的；将固态油炸物料从第一桶输送到第二桶的输送装置(3)，以及将固态油炸物料排出到第二桶之外的装置(210)。所述装置能将第一油槽的油保持在生物质的油炸温度，且包括第二桶中的油的提取装置(401)、所提取的油的加热装置以及将由此被加热的油注入第一桶的装置(412)。
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