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公开(公告)号：CN101685788B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810165755.1
申请日：2008-09-23
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，盒体内部设有多个插槽以容置多个晶圆，盒体的一侧面形成一开口可供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，是具有一外表面及一内表面，而门体以内表面与盒体的开口相结合，并用以保护置放于盒体内部的多个晶圆，其中前开式晶圆盒的特征在于：门体的内部配置至少一门闩结构且在门体的内表面四周的边缘配置一可充气的气密件。
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公开(公告)号：CN103165499A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210265938.7
申请日：2012-07-26
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/67393 , Y10T292/0834 , Y10T292/0964
摘要： 本发明公开了一种具有门闩结构的前开式晶圆盒，在晶圆盒的门体内配置一对门闩结构，门闩结构利用圆形转盘带动滑动装置，使门闩结构能稳固的开锁及上锁，避免开锁及上锁时不必要的震动及碰撞，并利用滚轮的移动，防止尘埃的产生。
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公开(公告)号：CN101685790B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200810168918.1
申请日：2008-09-27
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , B65D81/20 , B65D81/18 , B65D25/10
摘要： 本发明一种配置有可充气支撑件模块的前开式晶片盒，其前开式晶片盒，包括一盒体，是由一对侧壁、一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对开口的另一侧边形成一后壁，同时于每一侧壁上各配置一支撑件模块，以容置多个晶片；以及一门体，是以一内表面与盒体的开口相结合，并用以保护盒体内部的多个晶片，其中前开式晶片盒的特征在于：盒体的每一侧壁与后壁相邻的地方，各配置一可充气支撑件模块，可充气支撑件模块的面对开口方向上，再配置有一长缝且于可充气支撑件模块的一端配置一进气口与底面的一气阀连接，其中可充气支撑件模块是由多个垂直间隔排列的支撑肋组成。
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公开(公告)号：CN101685787B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200810161049.X
申请日：2008-09-24
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , B65D43/12 , B65D25/10 , B65D25/38 , B65D85/00
摘要： 一种前开式晶片盒，主要包括一盒体，盒体内部设有多个插槽以容置多个晶片，且盒体的一侧面形成一开口可供该多个晶片的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，而门体是以内表面与盒体的开口相结合，并用以保护置放于盒体内部的多个晶片，其中前开式晶片盒的特征在于：盒体的开口处的内缘上配置多对滑轮。
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公开(公告)号：CN103021913A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201110305366.6
申请日：2011-09-30
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67379
摘要： 一种前开式圆片盒，由可校正的支撑件的位置，使圆片盒内部的支撑件可相互对称，使放置的圆片片可水平放置。另外由配置一个OHT垫(OHT；Overhead Hoist Transport head)，可使OHT头平均分散前开式圆片盒及圆片的重量，使OHT头在搬运前开式圆片盒及圆片时能更稳固，并可负荷较重的重量，以达到制备过程的需求。
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公开(公告)号：CN101587823B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200810107918.0
申请日：2008-05-21
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677
摘要： 本发明一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个具有入气部分用以存放半导体组件或光掩模的存放装置中，包含有至少一个承座，用以承载存放装置；至少一个入气端口装置，设于承座上。该入气端口装置包含有承接部，其顶部与该存放装置的入气部分成弧面与弧面的线接触；通孔，供气体通过；以及接合部，与该供气部分连接。
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公开(公告)号：CN101169593B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200610140987.2
申请日：2006-10-25
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/00 , H01L21/027
摘要： 本发明披露一种金属光刻掩膜盒结构，由一个上盖体、一个下盖体及一个位于金属上盖体及金属下盖体之间的环状气密垫圈组合而成，并且于金属光刻掩膜盒的一个侧边上配置至少一个活动接合机构，用以连接金属上盖体及金属下盖体，再于活动接合机构之相对侧面上配置至少一个锁扣件，用以扣合金属上盖体及金属下盖体。
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公开(公告)号：CN101673046A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200810149138.2
申请日：2008-09-12
申请人： 家登精密工业股份有限公司
发明人： 邱铭隆
摘要： 本发明一种光罩存放装置以及保持光罩清洁与干燥的方法，该可充填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该光罩具有一图案面，该图案面设有一保护件，其中该存放装置包含有：一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩，其中该第二盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩；至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射区域以外；以及至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的相对于该入气端口的另一侧。从入气端口进入的气体从光罩上下表面通过，并带走在光罩及吸附在保护件表面上的湿气，达到迅速降低光罩存放装置内的湿度。
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公开(公告)号：CN103165499B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210265938.7
申请日：2012-07-26
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/67393 , Y10T292/0834 , Y10T292/0964
摘要： 本发明公开了一种具有门闩结构的前开式晶圆盒，在晶圆盒的门体内配置一对门闩结构，门闩结构利用圆形转盘带动滑动装置，使门闩结构能稳固的开锁及上锁，避免开锁及上锁时不必要的震动及碰撞，并利用滚轮的移动，防止尘埃的产生。
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公开(公告)号：CN103021913B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201110305366.6
申请日：2011-09-30
申请人： 家登精密工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67379
摘要： 一种前开式圆片盒，由可校正的支撑件的位置，使圆片盒内部的支撑件可相互对称，使放置的圆片片可水平放置。另外由配置一个OHT垫(OHT；Overhead Hoist Transport head)，可使OHT头平均分散前开式圆片盒及圆片的重量，使OHT头在搬运前开式圆片盒及圆片时能更稳固，并可负荷较重的重量，以达到制备过程的需求。
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