公开(公告)号：CN104437975B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201310433419.1

申请日：2013-09-22

Applicant: 宸美(厦门)光电有限公司

Inventor： 黄俊尧 ,  陈英哲 ,  洪博斌 ,  江益增

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05B3/18 ,  B05C5/005 ,  B05C5/0254 ,  B05C5/0266 ,  B05C9/02 ,  B05C11/00 ,  B05C11/1036 ,  B05D1/26 ,  B29C48/30 ,  B29C48/31

Abstract: 一种涂布装置，用以将一涂液涂布于一基材上，该涂布装置包括：一涂布头，具有一涂液出口，该涂布头与该基材适于沿一第一轴向相对移动，并能够通过该涂液出口将该涂液涂布于该基材；一调节件，连接于该涂布头，该调节件包含一设置于该涂液出口处的活动垫片，该活动垫片适于沿一第二轴向移动，调节该涂液出口的开口率；以及一驱动组件，与该调节件相接，用以控制该调节件沿该第二轴向进行移动。另外，一种涂布方法在此提出。

公开(公告)号：CN104437975A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201310433419.1

申请日：2013-09-22

Applicant: 宸美(厦门)光电有限公司

Inventor： 黄俊尧 ,  陈英哲 ,  洪博斌 ,  江益增

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05B3/18 ,  B05C5/005 ,  B05C5/0254 ,  B05C5/0266 ,  B05C9/02 ,  B05C11/00 ,  B05C11/1036 ,  B05D1/26 ,  B29C48/30 ,  B29C48/31 ,  B05C5/02 ,  B05C11/10

Abstract: 一种涂布装置，用以将一涂液涂布于一基材上，该涂布装置包括：一涂布头，具有一涂液出口，该涂布头与该基材适于沿一第一轴向相对移动，并能够通过该涂液出口将该涂液涂布于该基材；一调节件，连接于该涂布头，该调节件包含一设置于该涂液出口处的活动垫片，该活动垫片适于沿一第二轴向移动，调节该涂液出口的开口率；以及一驱动组件，与该调节件相接，用以控制该调节件沿该第二轴向进行移动。另外，一种涂布方法在此提出。