公开(公告)号：CN102149621A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200980135959.3

申请日：2009-12-17

申请人： 富士电机控股株式会社

发明人： 山田隆典 ,  横山胜治 ,  布野秀和 ,  塚原祐二

IPC分类号： B65H23/025 ,  B65H23/038 ,  H01L21/205 ,  H01L31/04

CPC分类号： B65H23/038 ,  B65H23/0322 ,  B65H2301/3113 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2404/15212 ,  B65H2601/2532 ,  B65H2701/1752 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/68 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： 对柔性基质(1)的横向位置进行控制的位置控制装置(21、5)包括：成对上部夹持辊子(21、24、25)，该成对上部夹持辊子对柔性基质的上边缘部分进行夹持，且成对上部夹持辊子的旋转轴倾斜，从而成对上部夹持辊子在夹持部分中的旋转方向相对于柔性基质的输送方向以微小偏角(α)朝上倾斜；上部支承机构，该上部支承机构包括对成对上部夹持辊子进行支承的可动支承部件(26)和固定支承部件(27)，从而成对上部夹持辊子可旋转和彼此靠近或离开；弹簧(51)，该弹簧通过可动支承部件使成对上部夹持辊子中的一个上部夹持辊子(25)沿对该成对上部夹持辊子中的另一个上部夹持辊子进行压靠的方向偏置；以及驱动装置(56)，该驱动装置使偏置部件移位，从而对该成对上部夹持辊子的夹持压力进行调整。即使当在长距离范围内输送带状柔性基质时，可抑制柔性基质的下垂和褶皱的发生，且可使柔性基质保持恒定的横向位置，藉此确保高质量的处理。