公开(公告)号：CN106024611B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201610544080.6

申请日：2013-05-20

申请人： 新南创新私人有限公司

发明人： 斯图尔特·罗斯·文哈姆 ,  菲利普·乔治·哈默 ,  布雷特·杰森·哈拉姆 ,  阿德莱恩·苏吉安托 ,  凯瑟琳·艾米丽·尚 ,  宋立辉 ,  吕珮玄 ,  艾利森·马里·文哈姆 ,  林·迈 ,  张子文 ,  徐光琦 ,  马修·布鲁斯·爱德华兹

IPC分类号： H01L21/30 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1868 ,  H01L21/3003 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67706 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/186 ,  H01L31/1864 ,  Y02B10/10 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明涉及一种用于处理半导体晶片的设备和方法，以用于制造光伏装置，所述设备包括：加热区，在氢源的存在下，能操作以将所述半导体晶片的至少一个区域加热至至少100℃；以及冷却区，包括第一照射器件，所述第一照射器件被配置为在所述半导体晶片的冷却期间利用光子照射所述半导体晶片的表面。

公开(公告)号：CN108766919A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810908687.7

申请日：2018-08-10

申请人： 武汉帝尔激光科技股份有限公司

发明人： 徐贵阳

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/78 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L21/67706 ,  H01L21/78 ,  H01L31/18

摘要： 本发明提供一种太阳能电池片裂片装置，第一吸盘和第二吸盘通过铰接件连接，并能在驱动装置提供和传动机构传递的作用力下绕公共旋转轴线转动，从而使吸附于第一吸盘和第二吸盘底面的吸附面上的太阳能电池片裂片，还包括用于在划片工位和下料工位之间转动的旋转臂，旋转臂的自由端通过固定架与吸盘组件连接；传动机构包括压板，压板位于第一吸盘和第二吸盘上方，在驱动装置的带动下完成下压和上移的动作，使得第一吸盘和第二吸盘在压板下压时与压板接触并受力转动、在压板上移时通过回位组件回位。本发明能够在电池片转移的过程中实现掰片，结构简单、占用空间小，并降低了对加工工位的干涉。

公开(公告)号：CN108400202A

公开(公告)日：2018-08-14

申请号：CN201810254841.3

申请日：2018-03-26

申请人： 李慧

发明人： 李慧

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/677

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/67706

摘要： 本发明涉及太阳能光伏技术领域。太阳能板的翻转设备，包括机架组件、进料装置、定位装置、夹取翻转装置、升降装置和控制器，进料装置、定位装置和升降装置安装在机架组件上，夹取翻转装置固定在升降装置上。该太阳能板的翻转设备的优点是太阳能板的整个进料、定位、夹取、翻转、上升和复位过程全部自动完成完成，准确率高，安全性好。

公开(公告)号：CN103658072B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201310412186.7

申请日：2013-09-11

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 李承俊 ,  柳廷和 ,  韩苏拉 ,  申东明

IPC分类号： B08B1/02 ,  B08B3/08 ,  B08B7/04 ,  H01L21/67

CPC分类号： B08B1/02 ,  B08B1/002 ,  B08B1/04 ,  B08B3/041 ,  H01L21/67046 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776

摘要： 提供一种基板清洁装置。该基板清洁装置包括用于传送基板的多个传送滚筒；将液体化学物供应到所述基板的第一表面的液体化学物供给器；其中所述液体化学物供给器包括壳体和清洁滚筒，该清洁滚筒被能旋转地安装在所述壳体内并且具有被配置为接触所述基板的上部分。

公开(公告)号：CN107680927A

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201710990074.8

申请日：2017-10-23

申请人： 苏州迈为科技股份有限公司

发明人： 陆瑜 ,  张险

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67706 ,  H01L21/67703

摘要： 本发明公开了一种卷纸传片装置及控制方法，卷纸传片装置包括卷纸、卷纸轴和驱动卷纸轴转动的驱动机构，卷纸轴包括第一卷纸轴和第二卷纸轴，卷纸的两端卷绕在第一卷纸轴和第二卷纸轴上，驱动机构包括第一电机和第二电机，第一电机与第一卷纸轴通过第一传动机构连接，第二电机与第二卷纸轴通过第二传动机构连接，在卷纸传片装置运行过程中，第一卷纸轴和第二卷纸轴两个中的一个为主动轴，另一个为从动轴，与主动轴连接的第一电机或第二电机驱动主动轴转动，与从动轴连接的第一电机或第二电机向从动轴施加与主动轴转动方向相反的转动力矩从而使卷纸一直处于被拉紧状态，使卷纸在第一卷纸轴和第二卷纸轴处的线速度相同，从而使电池片稳定传输。

公开(公告)号：CN104106130B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201380007950.0

申请日：2013-01-17

申请人： 梅耶博格(德国)股份公司

发明人： J·迈 ,  D·米勒 ,  S·拉舍克 ,  A·海因策

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/463 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/6776

摘要： 本发明涉及一种处理模块，该处理模块具有至少一个位于该处理模块内的可抽真空的处理室，以及至少一个水平穿过该处理模块、能够沿至少一个基片运输方向移动的承载装置，该承载装置用于分别容纳至少一个需要在该处理室内进行加工的面状基片。本发明的目的在于，提出上述类型的处理模块，该处理模块使得能够在大的生产速度下，以尽可能低的设备成本实现所有基片的均匀且高质量的加工。该目的通过上述类型的处理模块得以实现，其中该至少一个处理室能够被承载装置相对于该处理模块以物理方式封闭，所述承载装置的位置能够在至少一个横向于基片运输方向的关闭方向上进行改变，其中该至少一个承载装置构成该至少一个处理室的底部。

公开(公告)号：CN104923495B

公开(公告)日：2017-09-12

申请号：CN201510082185.X

申请日：2015-02-15

申请人： 泰克元有限公司

发明人： 李镇福 ,  李建雨

IPC分类号： B07C5/344 ,  B07C5/02

CPC分类号： H01L21/67721 ,  G01R31/2893 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  H01L21/68778 ,  H01L22/34

摘要： 本发明涉及对于所生产的半导体元件进行测试时所使用的半导体元件测试用分选机。根据本发明的半导体元件测试用分选机以能够移动的方式具备供给用户托盘或收放用户托盘的堆叠器，并具备使堆叠器移动而能够选择堆叠器的位置的位置选择器。因此，适用了本发明的分选机通过有效地应用堆叠器，不仅在同一测试工序中能够连续处理物品数量多的半导体元件或能够连续处理不同批量的物品数量，而且防止设备的大型化或设计的复杂化，从而能够节省空间和生产成本，且能够带来节省人力并提高设备运转率的效果。

公开(公告)号：CN106661722A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580038441.3

申请日：2015-07-23

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 藤长徹志 ,  井堀敦仁 ,  松本昌弘 ,  谷典明 ,  岩井治宪

IPC分类号： C23C14/34 ,  B65G49/06 ,  C23C14/56 ,  H01L21/285 ,  H01L21/677

CPC分类号： C23C14/3464 ,  C23C14/022 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  H01J37/32752 ,  H01J37/3417 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/6831 ,  H05K3/16 ,  H05K2201/0145 ,  H05K2201/0154 ,  H05K2201/0158

摘要： 基板处理装置(10)具备溅射装置(70)。溅射装置具备：溅射腔室；两个靶材(72)，其设于溅射腔室内，用于通过溅射在基板(15)的两个成膜面(15a、15b)上形成薄膜；以及搬送机构，其沿设于溅射腔室内的搬送路(32)搬送基板。两个靶材中的一个在搬送方向的前级上以与基板的两个成膜面中的一个相对的方式配置在搬送路的一侧。两个靶材中的另一个在搬送方向的后级上以与基板的两个成膜面中的另一个相对的方式配置在搬送路的另一侧。

公开(公告)号：CN106628852A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610825094.5

申请日：2016-09-14

申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所

发明人： 樊坤 ,  郭立 ,  禹庆荣 ,  曹骞 ,  尹昊

IPC分类号： B65G21/00 ,  B65G23/24 ,  B65G23/44 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65G21/00 ,  B65G23/24 ,  B65G23/44 ,  B65G2201/022 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/67706

摘要： 本发明公开了一种硅片或电池片传输机构，包括依次布置的主动轮支撑组件、隔振组件、从动轮支撑组件及至少一组传输组件，所述传输组件包括设于主动轮支撑组件上的主动轮、设于从动轮支撑组件上的从动轮及连接主动轮和从动轮的传输带，所述主动轮支撑组件和隔振组件之间设有减振阻尼器，所述隔振组件和从动轮支撑组件之间固设有防抖板，所述防抖板与所述传输带的下表面紧贴，本发明具有结构简单、传输速度快、重复性定位精度高等优点。

公开(公告)号：CN104488094B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380038918.9

申请日：2013-05-20

申请人： 新南创新私人有限公司

发明人： 斯图尔特·罗斯·文哈姆 ,  菲利普·乔治·哈默 ,  布雷特·杰森·哈拉姆 ,  阿德莱恩·苏吉安托 ,  凯瑟琳·艾米丽·尚 ,  宋立辉 ,  吕珮玄 ,  艾利森·马里·文哈姆 ,  林·迈 ,  张子文 ,  徐光琦 ,  马修·布鲁斯·爱德华兹

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/30 ,  H01L31/036

CPC分类号： H01L31/1868 ,  H01L21/3003 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67706 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/186 ,  H01L31/1864 ,  Y02B10/10 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： 提供一种硅光伏结装置的氢化方法，硅光伏结装置包括形成至少一个p-n结的p-型硅半导体材料和n-型硅半导体材料。方法包括：i)确保氢必须从其扩散通过的任何硅表面磷扩散层具有1x1020原子/cm3或更小的峰值掺杂浓度以及氢必须从其扩散通过的硅表面硼扩散层具有1x1019原子/cm3或更小的峰值掺杂浓度；ii)提供装置的每个表面能获取的一个或多个氢源；以及iii)将所述装置或所述装置的局部区域加热至至少40℃，同时用至少一个光源同时照射装置的全部的至少一些和/或有利地装置的全部，借此，具有在硅内生成电子空穴对的足够能量的所有入射光子(换言之，能级在1.12eV的硅的带隙之上的光子)的累积功率为至少20mW/cm2。