公开(公告)号：CN101821860A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200880110943.2

申请日：2008-10-09

Applicant: 富士电机系统株式会社

Inventor： 坂井亮平

IPC: H01L31/20 ,  C23C14/56

CPC classification number: H01L31/206 ,  C23C14/34 ,  C23C14/562 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/046 ,  H01L31/1876 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 一种薄膜太阳电池制造装置，其通过防止由搬送薄膜基板的驱动辊引起的搬送皱褶的发生而能够增强作业性。在该薄膜太阳电池制造装置中，将卷绕在送出辊上的带状可挠性薄膜基板输送到大致维持在真空状态的成膜室中，在成膜室中在相对布置的接地电极和具有靶材料的加压电极之间进行放电，以在恒定的加热下使成为电极的金属薄膜沉积在薄膜基板的表面上，然后通过设置在卷取室中的卷取辊卷取其上形成有金属薄膜的薄膜基板，在卷取室(5)中，设置有在恒定的张力下搬送其上形成有金属薄膜(22)的薄膜基板(1)的一对驱动辊(14、15)，并且在与薄膜基板的宽度方向的两端部相对应的至少一个驱动辊(15)的两个端部周面上形成有弹性部件层(21)。