公开(公告)号：CN103529052B

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201310276962.5

申请日：2013-07-03

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 柏木研二 ,  大野清一 ,  武田亮

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明提供一种表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。通过表面检查装置（10）检查卷绕在1对支承滚筒（12）上的流延带（11a）的表面。对卷绕在支承滚筒（12）上的部分的流延带（11a）沿宽度方向扫描激光（20）。由接收机（16）接收在流延带（11a）反射的激光（20）。接收机（16）通过具有狭缝开口（21a）的遮光板（21）遮挡不需要的光。利用定位单元（18）将扫描仪（15）及接收机（16）定位到流延带（11a）的检查位置。能够将扫描仪（15）及接收机（16）配置成与流延带（11a）的圆弧面相对，且能够高精度地检查针孔等微小缺陷。

公开(公告)号：CN103529052A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310276962.5

申请日：2013-07-03

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 柏木研二 ,  大野清一 ,  武田亮

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明提供一种表面检查装置及方法、以及溶液制膜方法及设备。通过表面检查装置（10）检查卷绕在1对支承滚筒（12）上的流延带（11a）的表面。对卷绕在支承滚筒（12）上的部分的流延带（11a）沿宽度方向扫描激光（20）。由接收机（16）接收在流延带（11a）反射的激光（20）。接收机（16）通过具有狭缝开口（21a）的遮光板（21）遮挡不需要的光。利用定位单元（18）将扫描仪（15）及接收机（16）定位到流延带（11a）的检查位置。能够将扫描仪（15）及接收机（16）配置成与流延带（11a）的圆弧面相对，且能够高精度地检查针孔等微小缺陷。