光波导器件
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114077009B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202110677479.2

    申请日:2021-06-18

    Abstract: 光波导器件。一种光波导器件,该光波导器件包括:中间层、包括X‑切割铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层,该中间层、包括X‑切割铌酸锂的该薄膜LN层和该缓冲层层叠在基板上;光波导,该光波导形成在所述薄膜LN层中;以及电极,该电极用于驱动。所述中间层由上部的第一中间层和下部的第二中间层形成,所述第二中间层的介电常数小于所述第一中间层的介电常数。

    光波导器件
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114077009A

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN202110677479.2

    申请日:2021-06-18

    Abstract: 光波导器件。一种光波导器件,该光波导器件包括:中间层、包括X‑切割铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层,该中间层、包括X‑切割铌酸锂的该薄膜LN层和该缓冲层层叠在基板上;光波导,该光波导形成在所述薄膜LN层中;以及电极,该电极用于驱动。所述中间层由上部的第一中间层和下部的第二中间层形成,所述第二中间层的介电常数小于所述第一中间层的介电常数。

Patent Agency Ranking