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公开(公告)号:CN110780468B
公开(公告)日:2023-01-17
申请号:CN201910694193.8
申请日:2019-07-30
Applicant: 富士通光器件株式会社
Abstract: 本发明提供光调制器、光调制器模块和光发送器模块。该光调制器包括:脊型光波导,该光波导由具有光电效应的介电材料薄膜在衬底上形成;缓冲层,该缓冲层覆盖所述光波导;和信号电极,该信号电极经由所述缓冲层设置在所述光波导上,其中,所述信号电极的宽度大于所述光波导的脊宽度,并且其中,所述信号电极覆盖所述光波导的脊的至少一个侧壁。
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公开(公告)号:CN114077009B
公开(公告)日:2024-02-13
申请号:CN202110677479.2
申请日:2021-06-18
Applicant: 富士通光器件株式会社
Abstract: 光波导器件。一种光波导器件,该光波导器件包括:中间层、包括X‑切割铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层,该中间层、包括X‑切割铌酸锂的该薄膜LN层和该缓冲层层叠在基板上;光波导,该光波导形成在所述薄膜LN层中;以及电极,该电极用于驱动。所述中间层由上部的第一中间层和下部的第二中间层形成,所述第二中间层的介电常数小于所述第一中间层的介电常数。
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公开(公告)号:CN113534506A
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202110192711.3
申请日:2021-02-20
Applicant: 富士通光器件株式会社
Abstract: 光学波导装置和制造光学波导装置的方法。光学波导装置具有:基板,层叠在基板上的中间层、包含X切割的铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层,以及在薄膜LN层中形成的具有脊形形状的光学波导。光学波导装置包括分别设置在光学波导的第一侧和第二侧处的多个电极。电极被设置为使得其相应底表面处于比缓冲层的表面的位置低的位置处。
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公开(公告)号:CN115586664A
公开(公告)日:2023-01-10
申请号:CN202210615396.5
申请日:2022-06-01
Applicant: 富士通光器件株式会社
Abstract: 本申请涉及光器件和光通信装置。一种光器件包括薄膜铌酸锂(LN)层、第一光波导和第二光波导。薄膜LN层是X切或Y切LN层。第一光波导是沿与薄膜LN层的晶轴的Z方向基本上垂直的方向形成在薄膜LN层上的光波导。第二光波导是被路由并连接到第一光波导的光波导。第一光波导的芯部的至少一部分被制成比第二光波导的芯部厚。
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公开(公告)号:CN114077009A
公开(公告)日:2022-02-22
申请号:CN202110677479.2
申请日:2021-06-18
Applicant: 富士通光器件株式会社
Abstract: 光波导器件。一种光波导器件,该光波导器件包括:中间层、包括X‑切割铌酸锂的薄膜LN层和缓冲层,该中间层、包括X‑切割铌酸锂的该薄膜LN层和该缓冲层层叠在基板上;光波导,该光波导形成在所述薄膜LN层中;以及电极,该电极用于驱动。所述中间层由上部的第一中间层和下部的第二中间层形成,所述第二中间层的介电常数小于所述第一中间层的介电常数。
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公开(公告)号:CN110780468A
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:CN201910694193.8
申请日:2019-07-30
Applicant: 富士通光器件株式会社
Abstract: 本发明提供光调制器、光调制器模块和光发送器模块。该光调制器包括:脊型光波导,该光波导由具有光电效应的介电材料薄膜在衬底上形成;缓冲层,该缓冲层覆盖所述光波导;和信号电极,该信号电极经由所述缓冲层设置在所述光波导上,其中,所述信号电极的宽度大于所述光波导的脊宽度,并且其中,所述信号电极覆盖所述光波导的脊的至少一个侧壁。
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