扫描机构,加工工件的方法,以及加工装置

    公开(公告)号:CN101251647A

    公开(公告)日:2008-08-27

    申请号:CN200810080433.7

    申请日:2008-02-19

    Abstract: 一种应用光束对扫描对象进行扫描的扫描机构,具有:聚光装置,用于聚集由光源发射的所述光束;驱动装置,用于沿与所述聚光装置的光轴正交的方向驱动所述聚光装置;第一反射装置,被设置为靠近所述扫描对象的第一侧,用于反射由所述聚光装置聚集的所述光束,以使得所述光束入射到所述扫描对象上;以及第二反射装置,被设置为靠近所述扫描对象的第二侧,该第二侧与所述扫描对象的第一侧相反,用于反射由所述聚光装置聚集的所述光束,以使得所述光束入射到所述扫描对象上。本发明的扫描机构可应用具有更小直径的、适于微加工的激光束,且可实现高速定位或高精度定位。

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