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公开(公告)号:CN101636518B
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200880007708.2
申请日:2008-03-27
Applicant: 富士钛工业株式会社
CPC classification number: C23C14/0688 , C23C14/083
Abstract: 本发明提供一种包含铌及镧的二元系氧化物、或者除该二元系氧化物外还包含金属铌及/或金属镧的蒸镀材料、及由该蒸镀材料得到的光学薄膜。其特征在于,该蒸镀材料中的铌和镧的摩尔比为25∶75~90∶10。
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公开(公告)号:CN101636518A
公开(公告)日:2010-01-27
申请号:CN200880007708.2
申请日:2008-03-27
Applicant: 富士钛工业株式会社
CPC classification number: C23C14/0688 , C23C14/083
Abstract: 本发明提供一种包含铌及镧的二元系氧化物、或者除该二元系氧化物外还包含金属铌及/或金属镧的蒸镀材料、及由该蒸镀材料得到的光学薄膜。其特征在于,该蒸镀材料中的铌和镧的摩尔比为25∶75~90∶10。
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