公开(公告)号：CN105264362B

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201480027452.7

申请日：2014-05-12

申请人： 尼康计量公众有限公司

发明人： K·苏祖基 ,  D·希尔顿

IPC分类号： G01N23/04

CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N2223/1016 ,  G01N2223/31 ,  G01N2223/419

摘要： 根据本公开，提供一种X射线成像系统，包括：X射线源；X射线探测器；样品底座，其用于将样品架置于在所述X射线源与所述X射线探测器之间的束路径中；封闭物，其至少将所述样品底座封闭在所述封闭物的内部；以及气候控制系统，其用于调节所述封闭物里面的气候，其中：所述封闭物具有孔径，其用于实现从所述封闭物外面对至少所述样品底座的访问；所述封闭物装备有门，所述门可在打开位置与关闭位置之间操作，在所述打开位置中所述孔径打开，在所述关闭位置中所述孔径被所述门关闭；并且所述气候控制系统可操作为提供在所述封闭物的所述内部与所述封闭物的外部之间的正压差，使得当所述门打开时，所述封闭物的所述内部被维持在比所述封闭物的所述外部更高的压力。这样的系统能够更好地调节所述封闭物里面的温度，即使是在所述门被打开时。

公开(公告)号：CN105264362A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201480027452.7

申请日：2014-05-12

申请人： 尼康计量公众有限公司

发明人： K·苏祖基 ,  D·希尔顿

IPC分类号： G01N23/04

CPC分类号： G01N23/046 ,  G01N2223/1016 ,  G01N2223/31 ,  G01N2223/419

摘要： 根据本公开，提供一种X射线成像系统，包括：X射线源；X射线探测器；样品底座，其用于将样品架置于在所述X射线源与所述X射线探测器之间的束路径中；封闭物，其至少将所述样品底座封闭在所述封闭物的内部；以及气候控制系统，其用于调节所述封闭物里面的气候，其中：所述封闭物具有孔径，其用于实现从所述封闭物外面对至少所述样品底座的访问；所述封闭物装备有门，所述门可在打开位置与关闭位置之间操作，在所述打开位置中所述孔径打开，在所述关闭位置中所述孔径被所述门关闭；并且所述气候控制系统可操作为提供在所述封闭物的所述内部与所述封闭物的外部之间的正压差，使得当所述门打开时，所述封闭物的所述内部被维持在比所述封闭物的所述外部更高的压力。这样的系统能够更好地调节所述封闭物里面的温度，即使是在所述门被打开时。