公开(公告)号：CN118418001A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202410713403.4

申请日：2024-06-03

申请人： 山东华达新材料有限公司

发明人： 吕尊华 ,  张方 ,  侯世允 ,  袁海云 ,  刘本庆 ,  周本才

IPC分类号： B24B19/22 ,  B24B41/06 ,  B24B49/00 ,  B24B41/02 ,  B24B47/12

摘要： 本发明公开了一种碳化硅生长热场用等静压石墨坏料打磨设备，具体涉及打磨技术领域，主要包括支撑座、支架以及滑框，支架固定在支撑座一侧，滑框焊接在支架顶端，滑框的内壁设有均匀联动机构；均匀联动机构包括转动设置在滑框内壁的传动螺杆，滑框的一侧固定安装有用于驱动传动螺杆旋转的驱动电机。本发明采用均匀联动机构，支架对滑框提供牢牢支撑力，由控制器启动驱动电机，传动螺杆驱动两个套接块在螺纹传动力的作用下远离，套接块带动联动套架右移，另外一个套接块带动另外一个联动套架左移，两个打磨盘分别与两个等静压石墨坯料实现均匀受力打磨，等静压石墨坯料打磨更加均匀，提高打磨质量。

公开(公告)号：CN118322368A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410619629.8

申请日：2024-05-17

申请人： 山东华达新材料有限公司

发明人： 吕尊华 ,  侯世允 ,  袁海云 ,  任鲁奎 ,  张方 ,  周本才

IPC分类号： B28D1/24 ,  B28D7/02 ,  B28D7/04 ,  B28D7/00

摘要： 本发明公开了一种硅晶圆生产热场用等静压石墨无尘分割装置，具体涉及等静压石墨加工技术领域，包括置物框和分割组件，且分割组件位于置物框内，置物框的顶部通过合页活动连接有框盖，置物框的内部固定连接有隔板，隔板的底端中心位置处固定连通有立筒，置物框的两侧均开设有多个通风口，且多个通风口均位于隔板的底部，置物框上设有清理组件。本发明通过吹风机工作产生风，风通过固定筒和气管进入出风斗内，最后通过出风斗排出，对分割组件进行散热，风可以通过立筒进入水中，分割产生的粉尘溶入水中，风通过多个通风口排出置物框内，操作简单，无尘分割，同时无需对等静压石墨进行干燥，使用方便。