一种三自由度微动平台及工作方法

    公开(公告)号:CN116343901B

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202310147009.4

    申请日:2023-02-20

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明提供了一种三自由度微动平台及工作方法,属于精密驱动技术领域,包括:输出中轴、基座、驱动曲板和驱动器,输出中轴用于安装固定驱动对象;所述输出中轴外侧面固定安装有四组驱动曲板,四组驱动曲板构成X形状,每个驱动曲板端部对应连接一个驱动器,驱动器安装在基座上,驱动器用于对驱动曲板提供径向压力,使得驱动曲板径向压缩从而带动输出中轴移动或转动;采用控制同侧设置的两个驱动器运动量的输出大小,控制输出中轴在平面上的线性位移,通过控制相对设置的两个驱动器运动量的输出大小,带动输出中轴转动一定角度,最终实现微动平台三个自由度的输出,整体结构简单,动作输出稳定可靠,提高了作业精度和稳定性。

    一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台

    公开(公告)号:CN115446612A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211170099.0

    申请日:2022-09-22

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明公开了一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台,包括底座,沿着底座的径向方向设置三个第一主运动模块,在第一主运动模块的顶部设置第二主运动模块,且第二主运动模块的设置方向与第一主运动模块设置方向垂直,第一主运动模块驱动第二主运动模块运动,在每个第二主运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块,第二主运动模块驱动被动运动模块移动,三个被动运动模块的倾斜角度相同,在每个被动运动模块上设置一个球形铰链,三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。本发明中的三个主动运动模块采用并联结构设计,具有刚度大,负载能力强,累计误差小的优点,有效的提高了精密定位平台的定位精度。

    一种单驱动双向长距离运动装置及工作方法

    公开(公告)号:CN118442424A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410522631.3

    申请日:2024-04-28

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明提出一种单驱动双向长距离运动装置及工作方法,装置包括:驱动器,控制器,以及分别设置于驱动器两端的第一运动模块和第二运动模块;所述第一运动模块和第二运动模块均包含端座,端座相对的两侧面设置有固定座,多个固定座在一个平面上;固定座与运动面板接触产生摩擦力;第一运动模块与运动面板之间的摩擦力大于第二运动模块与运动面板之间的摩擦力;第一运动模块的质量小于第二运动模块的质量;控制器控制驱动器沿轴线方向以不同速度伸缩,带动第一运动模块和第二运动模块沿运动面板前进或后退。本发明只需要设置一个驱动器,即可带动其两端的运动模块在不同运动面板实现向前、向后的双向运动,装置结构简单,操作便捷。

    一种往复式宏微驱动装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118413043A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410300227.1

    申请日:2024-03-15

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明公开了一种往复式宏微驱动装置,包括:宏动执行器和微动执行器,宏动执行器的壳体设置在运动输出装置上,微动执行器的壳体设置在基座上,宏动执行器和微动执行器的运动输出杆在末端相互接触,弹性铰链设置在基座和宏动执行器的运动输出杆之间,弹性铰链将宏动执行器的运动输出杆与微动执行器的运动输出杆的末端弹性固定在一起,宏动执行器的运动输出杆与弹性铰链在接触处轴向上的位置保持恒定。

    一种非对称差分式微纳直线运动平台及工作方法

    公开(公告)号:CN115954043B

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202211618792.X

    申请日:2022-12-15

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明提供了一种非对称差分式微纳直线运动平台及工作方法,属于精密驱动技术领域,包括:运动基座和固定基座,运动基座与固定基座滑动连接,可沿固定基座纵向移动,运动基座用于安装驱动对象;运动基座和固定基座之间设有驱动机构,驱动机构用于带动运动基座相对固定基座产生一定位移量;所述驱动机构包括驱动器和两个非对称支撑梁,驱动器用于同时对两个非对称支撑梁施加横向压力,利用非对称支撑梁的两个支撑梁存在强度差异,从而使得非对称支撑梁相对驱动器纵向产生一定位移量;具有简单的机械结构、良好的控制精度及可靠的稳定性。

    一种精密转角控制转台及工作方法

    公开(公告)号:CN116006653A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202211455123.5

    申请日:2022-11-21

    Applicant: 山东大学

    Inventor: 闫鹏 江文渊

    Abstract: 本发明提供了一种精密转角控制转台及工作方法,包括:输出中轴、驱动板和驱动机构;所述输出中轴用于安装固定转角驱动对象,输出中轴外侧面固定安装有若干个驱动板;所述驱动板端部与驱动机构连接,驱动机构用于提供径向压力,使得驱动板受力发生形变,进而带动输出中轴转动一定角度;驱动板可采用驱动曲板或非对称驱动板,利用驱动板发生形变带动输出中轴转动,大幅提高了精密转角控制转台的角度调节精度,对于微量角度调节能够提供精确的角度控制以及支撑刚度,并保证装置稳定性,本转台结构简单,工作过程简洁,便于实现。

    一种基于并联复合运动的高速精密转台及方法

    公开(公告)号:CN115264310A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202211027636.6

    申请日:2022-08-25

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明涉及精密驱动技术领域,特别涉及一种基于并联复合运动的高速精密转台及方法,包括基座;转动输出平台,与所述的基座通过设置中轴嵌套转动连接;粘滑驱动装置,设于所述基座和所述转动输出平台之间并用于驱动两者之间发生相对小角度旋转,所述粘滑驱动装置的摩擦头保持与所述转动输出平台的摩擦状态;驱动电机,与所述粘滑驱动装置并联设置,单独驱动所述转动输出平台大角度旋转,所述驱动电机通过传动齿轮组啮合或分离控制与所述转动输出平台的连接或断开;本发明将驱动电机的高速驱动与粘滑驱动装置的高精度驱动进行组合应用,能够达到高速、高精度进行角度控制的目的。

    一种三自由度微动平台及工作方法

    公开(公告)号:CN116343901A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310147009.4

    申请日:2023-02-20

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明提供了一种三自由度微动平台及工作方法,属于精密驱动技术领域,包括:输出中轴、基座、驱动曲板和驱动器,输出中轴用于安装固定驱动对象;所述输出中轴外侧面固定安装有四组驱动曲板,四组驱动曲板构成X形状,每个驱动曲板端部对应连接一个驱动器,驱动器安装在基座上,驱动器用于对驱动曲板提供径向压力,使得驱动曲板径向压缩从而带动输出中轴移动或转动;采用控制同侧设置的两个驱动器运动量的输出大小,控制输出中轴在平面上的线性位移,通过控制相对设置的两个驱动器运动量的输出大小,带动输出中轴转动一定角度,最终实现微动平台三个自由度的输出,整体结构简单,动作输出稳定可靠,提高了作业精度和稳定性。

    一种非对称差分式微纳直线运动平台及工作方法

    公开(公告)号:CN115954043A

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202211618792.X

    申请日:2022-12-15

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明提供了一种非对称差分式微纳直线运动平台及工作方法,属于精密驱动技术领域,包括:运动基座和固定基座,运动基座与固定基座滑动连接,可沿固定基座纵向移动,运动基座用于安装驱动对象;运动基座和固定基座之间设有驱动机构,驱动机构用于带动运动基座相对固定基座产生一定位移量;所述驱动机构包括驱动器和两个非对称支撑梁,驱动器用于同时对两个非对称支撑梁施加横向压力,利用非对称支撑梁的两个支撑梁存在强度差异,从而使得非对称支撑梁相对驱动器纵向产生一定位移量;具有简单的机械结构、良好的控制精度及可靠的稳定性。

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