-
公开(公告)号:CN109192350B
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201811167006.2
申请日:2018-10-08
申请人: 山西大同大学
IPC分类号: G21H1/06
摘要: 本发明提供的一种基于碳化硅材料的肖特基微型核电池,包括:碳化硅单晶衬底、碳化硅一维纳米线阵列、肖特基接触电极、欧姆接触电极和放射源层;碳化硅一维纳米线阵列位于碳化硅单晶衬底的正面,碳化硅一维纳米线阵列具有N型掺杂区域;肖特基接触电极包括势垒金属层和N型掺杂区域,势垒金属层的表面形状为叉指状;欧姆接触电极位于碳化硅单晶衬底的背面;放射源层位于所述势垒金属层的上方;本发明提供的微型核电池结构新颖合理、能量转换效率较高、制备成本较低,适用于半导体微器件领域。
-
公开(公告)号:CN109243659B
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201811167005.8
申请日:2018-10-08
申请人: 山西大同大学
IPC分类号: G21H1/06
摘要: 本发明提供的一种基于碳化硅材料的微型核电池,包括:高掺杂碳化硅单晶衬底,所述高掺杂碳化硅单晶衬底的正面具有碳化硅一维纳米线阵列,所述碳化硅一维纳米线阵列具有PN结区域,所述碳化硅一维纳米线阵列的PN结区域上面具有第一欧姆接触电极,所述第一欧姆接触电极上具有放射源层,所述高掺杂碳化硅单晶衬底的背面具有第二欧姆接触电极;本发明提供的微型核电池结构新颖合理、能量转换效率较高、制备成本较低,适用于半导体微器件领域。
-
公开(公告)号:CN109192350A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201811167006.2
申请日:2018-10-08
申请人: 山西大同大学
IPC分类号: G21H1/06
摘要: 本发明提供的一种基于碳化硅材料的肖特基微型核电池,包括:碳化硅单晶衬底、碳化硅一维纳米线阵列、肖特基接触电极、欧姆接触电极和放射源层;碳化硅一维纳米线阵列位于碳化硅单晶衬底的正面,碳化硅一维纳米线阵列具有N型掺杂区域;肖特基接触电极包括势垒金属层和N型掺杂区域,势垒金属层的表面形状为叉指状;欧姆接触电极位于碳化硅单晶衬底的背面;放射源层位于所述势垒金属层的上方;本发明提供的微型核电池结构新颖合理、能量转换效率较高、制备成本较低,适用于半导体微器件领域。
-
-
公开(公告)号:CN109243659A
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201811167005.8
申请日:2018-10-08
申请人: 山西大同大学
IPC分类号: G21H1/06
摘要: 本发明提供的一种基于碳化硅材料的微型核电池,包括:高掺杂碳化硅单晶衬底,所述高掺杂碳化硅单晶衬底的正面具有碳化硅一维纳米线阵列,所述碳化硅一维纳米线阵列具有PN结区域,所述碳化硅一维纳米线阵列的PN结区域上面具有第一欧姆接触电极,所述第一欧姆接触电极上具有放射源层,所述高掺杂碳化硅单晶衬底的背面具有第二欧姆接触电极;本发明提供的微型核电池结构新颖合理、能量转换效率较高、制备成本较低,适用于半导体微器件领域。
-
-
-
-