公开(公告)号：CN118439869A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410528542.X

申请日：2024-04-29

申请人： 岭南师范学院

发明人： 崔在甫 ,  段文锦 ,  罗鸿言 ,  朱杰宏 ,  缑博怀 ,  黄家弘 ,  黄丽雯 ,  王中海 ,  许梓桐 ,  陈小军 ,  李鑫 ,  隋广洲

IPC分类号： C04B35/589 ,  C04B35/596 ,  C04B35/582 ,  C04B35/5835 ,  C04B35/571 ,  C04B35/577 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64 ,  G01K7/16

摘要： 本发明涉及传感器技术领域，特别是涉及一种聚合物前驱体陶瓷高温薄膜传感器的制备方法。该方法在聚合物前驱体陶瓷传感薄膜上覆盖保护层薄膜，连接引线，得到所述聚合物前驱体陶瓷高温薄膜传感器。所述聚合物前驱体陶瓷传感薄膜的制备方法包括以下步骤：将前驱体液涂覆到衬底表面，得到浆状聚合物前驱体薄膜；对所述浆状聚合物前驱体薄膜进行激光扫描，之后于有机溶剂中超声，得到聚合物前驱体陶瓷传感薄膜。本发明图案化的过程同步实现了热解，无需再次热解，节省了工艺步骤，利用本发明方法制备的薄膜传感器耐温最高达1000℃，适用于高温部件的温度和热流测试。