一种高纯硅钨粉的制备方法

    公开(公告)号:CN114535579B

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202210256005.5

    申请日:2022-03-15

    IPC分类号: B22F3/10 B22F9/04

    摘要: 本发明涉及一种高纯硅钨粉的制备方法,为了解决传统的硅钨粉制备过程中容易生成二氧化硅以及高纯硅钨粉中氧含量不能有效降低等问题,本发明提供了一种高纯硅钨粉的制备方法。本发明以高纯钨粉、高纯硅粉为原料,经混合、高温烧结后制备得到高纯硅钨粉团聚体,然后经气破处理,制备得到分散性较好的高纯硅钨粉。采用本发明的高纯硅钨粉的制备方法,可以制备得到分散性更好的高纯硅钨粉,能够更好的满足高纯度钨硅靶材对高纯硅钨粉原料的需求,在电子栅门材料以及电子薄膜领域的应用市场非常广阔。(56)对比文件侯周福;许剑光;唐果宁.无压烧结原位合成制备WSi_2/MoSi_2复合材料及其性能.机械工程材料.2010,(第02期),全文.

    一种硅包覆钨复合粉及其制备方法

    公开(公告)号:CN114918412B

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202210619381.6

    申请日:2022-06-02

    IPC分类号: B22F1/16 B22F9/04 C23C14/34

    摘要: 本发明涉及一种硅包覆钨复合粉及其制备方法。本发明的硅包覆钨复合粉以钨粉为核心颗粒,在核心颗粒的表面均匀包覆硅粉包覆层。本发明以钨粉、硅粉为原料,经混合、真空脱气、高温烧结、快速冷却,然后经气破制备了分散性较好、表面均匀包覆粗颗粒硅的硅钨复合粉。本发明通过对硅粉进行球磨破碎,增加烧结过程中的融化速率,提高包覆性能;真空脱气和烧结可确保在硅与氧发生反应之前脱除粉末中的氧;使硅粉以快速融化,从而包覆钨粉,制备分散性较好的复合粉;最终制备出粗颗粒硅包覆钨复合粉。采用本发明方法制备得到的硅包覆钨复合粉可应用于制备钨均匀分布的硅钨薄膜,广泛应用在硅钨靶材中。

    一种采用电感耦合等离子体发射光谱仪检测钨酸钠中杂质的方法

    公开(公告)号:CN115508340A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211221942.3

    申请日:2022-10-08

    IPC分类号: G01N21/73 G01N1/28

    摘要: 本发明涉及一种用电感耦合等离子体发射光谱仪检测钨酸钠中杂质的方法。为了解决现有的钨酸钠溶液中杂质含量检测方法存在的耗时长、耗费人力大、误差大、精度不高等缺点,本发明提供一种采用电感耦合等离子体发射法检测钨酸钠中杂质的方法,本发明在测试前先使用钨酸颗粒初步中和碱性的钨酸钠溶液,达到既不引入新的杂质,又能使得溶液呈现弱碱性,再用稀释和稀酸同时降低溶液PH,使得处理后的钨酸钠溶液符合电感耦合等离子发射光谱仪的检测进样要求,从而达到准确、稳定、快速、高效检测钨酸钠中杂质的目的。本发明的检测方法将检测时长从12h减少到1h,降低91.7%,方法简单,节约成本,易于推广。

    一种高纯硅钨粉的制备方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114535579A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202210256005.5

    申请日:2022-03-15

    IPC分类号: B22F3/10 B22F9/04

    摘要: 本发明涉及一种高纯硅钨粉的制备方法,为了解决传统的硅钨粉制备过程中容易生成二氧化硅以及高纯硅钨粉中氧含量不能有效降低等问题,本发明提供了一种高纯硅钨粉的制备方法。本发明以高纯钨粉、高纯硅粉为原料,经混合、高温烧结后制备得到高纯硅钨粉团聚体,然后经气破处理,制备得到分散性较好的高纯硅钨粉。采用本发明的高纯硅钨粉的制备方法,可以制备得到分散性更好的高纯硅钨粉,能够更好的满足高纯度钨硅靶材对高纯硅钨粉原料的需求,在电子栅门材料以及电子薄膜领域的应用市场非常广阔。

    一种采用电感耦合等离子体发射光谱仪检测钨酸钠中杂质的方法

    公开(公告)号:CN115508340B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202211221942.3

    申请日:2022-10-08

    IPC分类号: G01N21/73 G01N1/28

    摘要: 本发明涉及一种用电感耦合等离子体发射光谱仪检测钨酸钠中杂质的方法。为了解决现有的钨酸钠溶液中杂质含量检测方法存在的耗时长、耗费人力大、误差大、精度不高等缺点,本发明提供一种采用电感耦合等离子体发射法检测钨酸钠中杂质的方法,本发明在测试前先使用钨酸颗粒初步中和碱性的钨酸钠溶液,达到既不引入新的杂质,又能使得溶液呈现弱碱性,再用稀释和稀酸同时降低溶液PH,使得处理后的钨酸钠溶液符合电感耦合等离子发射光谱仪的检测进样要求,从而达到准确、稳定、快速、高效检测钨酸钠中杂质的目的。本发明的检测方法将检测时长从12h减少到1h,降低91.7%,方法简单,节约成本,易于推广。

    一种硅包覆钨复合粉及其制备方法

    公开(公告)号:CN114918412A

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN202210619381.6

    申请日:2022-06-02

    IPC分类号: B22F1/16 B22F9/04 C23C14/34

    摘要: 本发明涉及一种硅包覆钨复合粉及其制备方法。本发明的硅包覆钨复合粉以钨粉为核心颗粒,在核心颗粒的表面均匀包覆硅粉包覆层。本发明以钨粉、硅粉为原料,经混合、真空脱气、高温烧结、快速冷却,然后经气破制备了分散性较好、表面均匀包覆粗颗粒硅的硅钨复合粉。本发明通过对硅粉进行球磨破碎,增加烧结过程中的融化速率,提高包覆性能;真空脱气和烧结可确保在硅与氧发生反应之前脱除粉末中的氧;使硅粉以快速融化,从而包覆钨粉,制备分散性较好的复合粉;最终制备出粗颗粒硅包覆钨复合粉。采用本发明方法制备得到的硅包覆钨复合粉可应用于制备钨均匀分布的硅钨薄膜,广泛应用在硅钨靶材中。

    扫描电子显微镜样品固定装置

    公开(公告)号:CN216285003U

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202122574741.9

    申请日:2021-10-25

    IPC分类号: G01N23/2204 G01N23/2251

    摘要: 本实用新型公开了扫描电子显微镜样品固定装置。该固定装置包括:多孔样品台、样品座和固定组件,多孔样品台包括上下布置的凹槽和第一支柱,凹槽内表面的底壁上设有多个固定孔,凹槽的侧壁上设有多个贯穿侧壁的螺孔,第一支柱适于与样品舱匹配相连;样品座包括样品固定平台和多个第二支柱,多个第二支柱设在样品固定平台底部并与固定孔一一对应,样品固定平台上任意两点之间在凹槽底壁上的正投影的距离不大于凹槽的内径;固定组件包括多套配套使用的螺栓和螺母,螺栓与螺孔匹配,螺栓可穿过螺孔并止抵于第二支柱,螺母适于固定螺栓与第二支柱。该装置可以避免检测样品时待测样品易掉落至电镜的真空腔内从而对样品舱及电子枪造成污染的问题。