再生冷却方法和设备
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107709608B

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201680018733.5

    申请日:2016-02-01

    摘要: 一种冷却等离子体室中的内衬的方法。使再循环气体与内衬接触或经过内衬,以冷却所述内衬并预热再循环气体。然后使被预热的气体经过等离子体室再循环,以成为等离子体形成工艺的一部分。该方法还包括:内衬为石墨,再循环气体经过存在于内衬中的至少一条冷却通道,冷却通道中的至少一条冷却通道被至少一个能够移除的内衬/通道盖覆盖,碳沉积物由存在于再循环气体中的烃形成,至少一条通道被形成为螺旋的冷却通道样式,至少一条通道被形成为基本上直的冷却通道样式,以及充气室,其用于协助在通道中产生均匀分布的冷却气体。

    再生冷却方法和设备
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107709608A

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201680018733.5

    申请日:2016-02-01

    摘要: 一种冷却等离子体室中的内衬的方法。使再循环气体与内衬接触或经过内衬,以冷却所述内衬并预热再循环气体。然后使被预热的气体经过等离子体室再循环,以成为等离子体形成工艺的一部分。该方法还包括:内衬为石墨,再循环气体经过存在于内衬中的至少一条冷却通道,冷却通道中的至少一条冷却通道被至少一个能够移除的内衬/通道盖覆盖,碳沉积物由存在于再循环气体中的烃形成,至少一条通道被形成为螺旋的冷却通道样式,至少一条通道被形成为基本上直的冷却通道样式,以及充气室,其用于协助在通道中产生均匀分布的冷却气体。