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公开(公告)号:CN102782066B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201180010318.2
申请日:2011-01-19
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: C09G1/02
CPC分类号: H01L21/3212 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463
摘要: 本发明涉及一种化学-机械抛光组合物,其包含:(a)至少一种类型的磨料颗粒;(b)至少两种氧化剂;(c)至少一种pH调节剂;和(d)去离子水;(e)任选包含至少一种抗氧化剂,以及一种将含至少一个铜层、至少一个钌层和至少一个钽层的基材化学-机械平坦化的方法,其包括以下步骤:(1)提供所述化学-机械抛光组合物;(2)使待抛光的基材表面与所述化学-机械抛光组合物和抛光垫接触;和(3)通过相对基材移动抛光垫而将基材表面化学机械抛光。
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公开(公告)号:CN102782066A
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN201180010318.2
申请日:2011-01-19
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: C09G1/02
CPC分类号: H01L21/3212 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463
摘要: 本发明涉及一种化学-机械抛光组合物,其包含:(a)至少一种类型的磨料颗粒;(b)至少两种氧化剂;(c)至少一种pH调节剂;和(d)去离子水;(e)任选包含至少一种抗氧化剂,以及一种将含至少一个铜层、至少一个钌层和至少一个钽层的基材化学-机械平坦化的方法,其包括以下步骤:(1)提供所述化学-机械抛光组合物;(2)使待抛光的基材表面与所述化学-机械抛光组合物和抛光垫接触;和(3)通过相对基材移动抛光垫而将基材表面化学机械抛光。
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