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公开(公告)号：CN1225177A
公开(公告)日：1999-08-04
申请号：CN97196356.8
申请日：1997-05-09
申请人： 布克哈姆技术有限公司
IPC分类号： G02B6/42
摘要： 一种光学元件如激光二极管(1)和光波导(2)在硅－绝缘层基片上互相对齐放置的组件,该基片包括通过绝缘材料层(9)与片基8分开的硅层(7)。在基片上形成定位槽以安装激光二极管(1)。该凹槽具有至少两个非平行的定位面(3,6)并在基片上与所述定位面(3,6)预知对齐形成光波导。激光二极管(1)具有至少两个参考面(1A,1B)并安装在定位槽中以使参考面(1A,1B)紧靠在定位面(3,6)中的相应一个上。如此形成定位槽以使定位面中的一个(6)的位置可以通过硅－绝缘层基片上绝缘材料层的上界面或下界面的位置来决定。
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公开(公告)号：CN1275206A
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN98809948.9
申请日：1998-04-15
申请人： 布克哈姆技术有限公司
CPC分类号： G02B6/122 , G02B2006/12135 , G02B2006/12145 , G02B2006/12176 , G02F1/0147 , G02F1/225 , G02F2001/0113
摘要： 一种形成于硅层中并被基片(5)支撑的集成光路,通过例如以桥的形式在该基片(5)上的一凹槽(2)上延伸使该硅层的一部分(1)与该基片(5)基本绝热。设有温控装置用来控制该硅层所述部分(1)或其上所设元件的温度。可以在所述部分(1)设置一热膨胀间隙(1A)以容纳所述部分(1)相对于基片(5)的热膨胀。
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公开(公告)号：CN1251660A
公开(公告)日：2000-04-26
申请号：CN98803862.5
申请日：1998-02-06
申请人： 布克哈姆技术有限公司
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/4214 , H01L31/02325 , H01S5/02
摘要： 本器件是在绝缘体基外延硅芯片(它包括一个硅层(1),绝缘层(2)将硅层与衬底(3)分开)上形成的,本器件包括一个形成于硅层(1)的集成波导(4)和一个形成在硅层(1)的凹槽内的反射面(6)。反射面定位成把光重定向在希望的方向上。波导(4)和反射面(6)都形成在硅层(1)上,所以它们的位置可以由同一光刻步骤限定,从而它们自动相互对准。
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公开(公告)号：CN1246928A
公开(公告)日：2000-03-08
申请号：CN98802408.X
申请日：1998-02-06
申请人： 布克哈姆技术有限公司
CPC分类号： G02B6/1228 , G02B2006/12097
摘要： 一种楔状肋形波导,从大的多模光波导向较小的单模光波导逐渐变窄,该楔状肋形波导包括由同种材料形成的两个部分(4,5):从大波导向较小波导槽向逐渐变窄的下部(4),和形成在所述下部(4)上的上部(5),该上部变窄为一点(或以其他形式终止),两部分(4,5)的尺寸设置成基本上所有在大的多模波导中传播的基模耦合到较小的单模波导中。
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