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公开(公告)号：CN115662946B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202211371335.5
申请日：2022-11-03
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/538
摘要： 本发明提供了一种超细节距全铜互连方法及超细节距全铜互连结构，包括以下步骤：S1、制备纳米铜膏，通过加入溶剂、分散剂和粘度调节剂调配至一定浓度；S2、选取一定铜柱直径及数量的芯片和基板，并将基板及芯片清洗干净后进行预处理；S3、键合机吸取带有铜柱I/O输出端口的芯片并进行翻转，使铜柱结构朝外；S4、键合机的吸头吸取芯片将铜柱结构浸入纳米铜膏中蘸取后提起；S5、通入保护气体，铜柱与基板上对应的垫片通过键合机的光学系统对准并施加压力，超声和温度以进行键合；S6、室温下冷却得到超细节距全铜半导体互连结构。本发明具有低温烧结，能实现超细节距互连上的极限，可以实现更细节距的互连，可满足高密度封装的要求。
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公开(公告)号：CN114054766A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111364775.3
申请日：2021-11-17
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明涉及纳米金属颗粒生产技术领域，尤其涉及一种多尺寸纳米金属颗粒及其制备系统、制备方法和应用。一种多尺寸纳米金属颗粒的制备系统，包括气流控制装置、纳米材料制备装置和收集装置；所述纳米材料制备装置包括烧蚀反应容器、电源和两个电极，所述烧蚀反应容器的内壁相对地设置有两个所述电极，两个所述电极分别与所述电源的两极电连接；所述气流控制装置包括惰性气源、进气管路、进气阀门、回收管路、回收阀门和出气管路。所述多尺寸纳米金属颗粒的制备系统，能够批量制备不同尺寸的纳米金属颗粒，有效降低了生产成本，提高生产效率，解决了目前需要单独制备不同尺寸的纳米金属颗粒再将其混合，导致出现生产成本高、生产效率低下的问题。
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公开(公告)号：CN116216659B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202310185934.6
申请日：2023-03-01
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： C01B21/06 , H01J37/32 , C01B21/072 , B82Y30/00 , C01B21/068
摘要： 本发明公开了一种氮化物纳米材料的制备方法及制备系统，涉及纳米材料技术领域。本发明氮化物纳米材料的制备方法如下：将电极靶材安装于火花烧蚀装置的内部，电极靶材的材料为金属材料或非金属材料；电极靶材的供电电压为6～9KV，供电电流为15～50mA；向火花烧蚀装置中通入氮气，启动火花烧蚀装置的电源，在火花烧蚀装置的内部产出氮化物纳米颗粒，对氮化物纳米颗粒进行收集后，得到氮化物纳米材料。本发明的制备方法具有制备工艺简单且生产效率高的优点，能够实现工业化生产，解决了现有氮化物纳米材料的制备方法因制备过程复杂、生产效率低和生产条件苛刻而导致制备成本高和难以实现工业化生产的问题。
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公开(公告)号：CN114289711B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202111666922.2
申请日：2021-12-30
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开了一种石墨烯包覆金属材料的制备方法及其制备系统，涉及石墨烯包覆金属技术领域，包括以下步骤：(1)将金属电极与火花混合烧蚀装置的阳极端连接，将石墨电极与火花混合烧蚀装置的阴极端连接；(2)将气体通入火花混合烧蚀装置中，启动火花混合烧蚀装置，金属电极和石墨电极发生火花烧蚀反应，分别形成纳米金属颗粒和石墨烯薄片；(3)石墨烯薄片和纳米金属颗粒通过气体混合碰撞，使石墨烯薄片包覆在纳米金属颗粒的表面，形成石墨烯包覆金属材料。本发明的制备方法具有制备难度低、不引入杂质和有害物质的优点，且制备得到的石墨烯包覆金属材料粒径可控，纯度高，解决了现有技术制备难度高、容易引入金属杂质或有害物质的问题。
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公开(公告)号：CN114289711A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111666922.2
申请日：2021-12-30
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开了一种石墨烯包覆金属材料的制备方法及其制备系统，涉及石墨烯包覆金属技术领域，包括以下步骤：(1)将金属电极与火花混合烧蚀装置的阳极端连接，将石墨电极与火花混合烧蚀装置的阴极端连接；(2)将气体通入火花混合烧蚀装置中，启动火花混合烧蚀装置，金属电极和石墨电极发生火花烧蚀反应，分别形成纳米金属颗粒和石墨烯薄片；(3)石墨烯薄片和纳米金属颗粒通过气体混合碰撞，使石墨烯薄片包覆在纳米金属颗粒的表面，形成石墨烯包覆金属材料。本发明的制备方法具有制备难度低、不引入杂质和有害物质的优点，且制备得到的石墨烯包覆金属材料粒径可控，纯度高，解决了现有技术制备难度高、容易引入金属杂质或有害物质的问题。
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公开(公告)号：CN114054766B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202111364775.3
申请日：2021-11-17
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明涉及纳米金属颗粒生产技术领域，尤其涉及一种多尺寸纳米金属颗粒及其制备系统、制备方法和应用。一种多尺寸纳米金属颗粒的制备系统，包括气流控制装置、纳米材料制备装置和收集装置；所述纳米材料制备装置包括烧蚀反应容器、电源和两个电极，所述烧蚀反应容器的内壁相对地设置有两个所述电极，两个所述电极分别与所述电源的两极电连接；所述气流控制装置包括惰性气源、进气管路、进气阀门、回收管路、回收阀门和出气管路。所述多尺寸纳米金属颗粒的制备系统，能够批量制备不同尺寸的纳米金属颗粒，有效降低了生产成本，提高生产效率，解决了目前需要单独制备不同尺寸的纳米金属颗粒再将其混合，导致出现生产成本高、生产效率低下的问题。
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公开(公告)号：CN116216659A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310185934.6
申请日：2023-03-01
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： C01B21/06 , H01J37/32 , C01B21/072 , B82Y30/00 , C01B21/068
摘要： 本发明公开了一种氮化物纳米材料的制备方法及制备系统，涉及纳米材料技术领域。本发明氮化物纳米材料的制备方法如下：将电极靶材安装于火花烧蚀装置的内部，电极靶材的材料为金属材料或非金属材料；电极靶材的供电电压为6～9KV，供电电流为15～50mA；向火花烧蚀装置中通入氮气，启动火花烧蚀装置的电源，在火花烧蚀装置的内部产出氮化物纳米颗粒，对氮化物纳米颗粒进行收集后，得到氮化物纳米材料。本发明的制备方法具有制备工艺简单且生产效率高的优点，能够实现工业化生产，解决了现有氮化物纳米材料的制备方法因制备过程复杂、生产效率低和生产条件苛刻而导致制备成本高和难以实现工业化生产的问题。
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公开(公告)号：CN115662946A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211371335.5
申请日：2022-11-03
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H01L21/768 , H01L23/538
摘要： 本发明提供了一种超细节距全铜互连方法及超细节距全铜互连结构，包括以下步骤：S1、制备纳米铜膏，通过加入溶剂、分散剂和粘度调节剂调配至一定浓度；S2、选取一定铜柱直径及数量的芯片和基板，并将基板及芯片清洗干净后进行预处理；S3、键合机吸取带有铜柱I/O输出端口的芯片并进行翻转，使铜柱结构朝外；S4、键合机的吸头吸取芯片将铜柱结构浸入纳米铜膏中蘸取后提起；S5、通入保护气体，铜柱与基板上对应的垫片通过键合机的光学系统对准并施加压力，超声和温度以进行键合；S6、室温下冷却得到超细节距全铜半导体互连结构。本发明具有低温烧结，能实现超细节距互连上的极限，可以实现更细节距的互连，可满足高密度封装的要求。
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