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公开(公告)号:CN106735642A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201710153935.7
申请日:2017-03-15
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明公开了一种电射流掩膜加工用喷头,包括筒形喷头主体,喷头主体的一侧壁上沿其延伸方向均匀设有N个进水口,喷头主体的另一侧壁上沿其延伸方向均匀设有2N个出水口,出水口的延伸方向可垂直于待加工区域,并且每一个进水口可投影于对应的两个出水口中间。本发明所提供的电射流掩膜加工用喷头,可以保证同时加工出来的微结构有较好的一致性,保证同时加工而成的微结构具有相同的加工形貌,降低检测难度,并且,该喷头可以同时加工出多个区域,能够有效的提高加工效率。本发明还公开了一种包括上述电射流掩膜加工用喷头的电射流掩膜加工系统。
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公开(公告)号:CN107052485B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN201710481585.7
申请日:2017-06-22
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明公开一种基于电射流掩膜加工的水帘喷头,包括圆柱型喷头腔体,所述喷头腔体底部的外壁上、沿所述喷头腔体长度方向开设排状出液口,所述喷头腔体的一端设有第一进液口,所述喷头腔体的另一端设有第二进液口,所述第一进液口和所述第二进液口内壁的底部均与各所述出液口上表面齐平。在应用该水帘喷头时,将第一进液口和第二进液口分别与供液管连接,电解液通过第一进液口和第二进液口呈流淌状态进入喷头腔体,电解液经由排状出液口流出,从而形成射流电解加工水帘,使得射流加工能灵活地适应具有不同掩膜结构的加工工件,增加了射流电解加工的灵活性。
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公开(公告)号:CN107838508A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201711341310.X
申请日:2017-12-14
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明实施例公开了一种内壁微结构电解加工装置及设备,包括工作台、夹具、储液槽、排液管、阴极喷头及掩模板;其中,阴极喷头设有进液口和出液口,出液口为圆弧线结构,出液口的曲率与待加工工件的待加工内壁的曲率一致,出液口所在平面与待加工内壁所在曲面垂直;工作台用于通过夹具固定待加工工件;掩模板贴附于待加工内壁上;储液槽用于存储电解液,排液管用于将电解液从储液槽输送至阴极喷头的进液口,阴极喷头的出液口用于将电解液喷出,使形成的弧状射流喷射至掩模板上,以对待加工内壁进行加工。本发明实施例的适用范围较大,灵活性较强,并且在使用过程中提高了内壁微结构的加工质量和精确度。
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公开(公告)号:CN107838508B
公开(公告)日:2023-11-10
申请号:CN201711341310.X
申请日:2017-12-14
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明实施例公开了一种内壁微结构电解加工装置及设备,包括工作台、夹具、储液槽、排液管、阴极喷头及掩模板;其中,阴极喷头设有进液口和出液口,出液口为圆弧线结构,出液口的曲率与待加工工件的待加工内壁的曲率一致,出液口所在平面与待加工内壁所在曲面垂直;工作台用于通过夹具固定待加工工件;掩模板贴附于待加工内壁上;储液槽用于存储电解液,排液管用于将电解液从储液槽输送至阴极喷头的进液口,阴极喷头的出液口用于将电解液喷出,使形成的弧状射流喷射至掩模板上,以对待加工内壁进行加工。本发明实施例的适用范围较大,灵活性较强,并且在使用过程中提高了内壁微结构的加工质量和精确度。
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公开(公告)号:CN107052485A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201710481585.7
申请日:2017-06-22
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明公开一种基于电射流掩膜加工的水帘喷头,包括圆柱型喷头腔体,所述喷头腔体底部的外壁上、沿所述喷头腔体长度方向开设排状出液口,所述喷头腔体的一端设有第一进液口,所述喷头腔体的另一端设有第二进液口,所述第一进液口和所述第二进液口内壁的底部均与各所述出液口上表面齐平。在应用该水帘喷头时,将第一进液口和第二进液口分别与供液管连接,电解液通过第一进液口和第二进液口呈流淌状态进入喷头腔体,电解液经由排状出液口流出,从而形成射流电解加工水帘,使得射流加工能灵活地适应具有不同掩膜结构的加工工件,增加了射流电解加工的灵活性。
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公开(公告)号:CN107052484A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201710311839.0
申请日:2017-05-05
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明公开了一种用于射流电解加工微沟槽的装置及射流电解加工方法,包括:金属喷嘴和位于金属喷嘴的出口处的导电模板;其中,导电模板内部设置有单个或单排阵列微通孔结构,加工过程中喷嘴和导电模板固定,通过移动工件实现微沟槽的加工。由于本发明通过具有微通孔结构的导电模板可以约束加工区,突破现有射流电解加工尺寸极限,并且高速冲刷的电解液可以将加工区产物迅速带出,有利于大深度微沟槽的加工;同时导电模板改变了加工区的电场分布和流场模式,增强定向腐蚀能力,提高加工定域性,有利于高深宽比微沟槽的加工,从而在金属工件表面高效加工出尺寸一致性好、表面质量较高的微沟槽。
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公开(公告)号:CN206824779U
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201720737957.3
申请日:2017-06-22
申请人: 广东工业大学
摘要: 本实用新型公开一种基于电射流掩膜加工的水帘喷头,包括圆柱型喷头腔体,所述喷头腔体底部的外壁上、沿所述喷头腔体长度方向开设排状出液口,所述喷头腔体的一端设有第一进液口,所述喷头腔体的另一端设有第二进液口,所述第一进液口和所述第二进液口内壁的底部均与各所述出液口上表面齐平。在应用该水帘喷头时,将第一进液口和第二进液口分别与供液管连接,电解液通过第一进液口和第二进液口呈流淌状态进入喷头腔体,电解液经由排状出液口流出,从而形成射流电解加工水帘,使得射流加工能灵活地适应具有不同掩膜结构的加工工件,增加了射流电解加工的灵活性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207629334U
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201721776059.5
申请日:2017-12-14
申请人: 广东工业大学
摘要: 本实用新型实施例公开了一种内壁微结构电解加工装置及设备,包括工作台、夹具、储液槽、排液管、阴极喷头及掩模板;其中,阴极喷头设有进液口和出液口,出液口为圆弧线结构,出液口的曲率与待加工工件的待加工内壁的曲率一致,出液口所在平面与待加工内壁所在曲面垂直;工作台用于通过夹具固定待加工工件;掩模板贴附于待加工内壁上;储液槽用于存储电解液,排液管用于将电解液从储液槽输送至阴极喷头的进液口,阴极喷头的出液口用于将电解液喷出,使形成的弧状射流喷射至掩模板上,以对待加工内壁进行加工。本实用新型实施例的适用范围较大,灵活性较强,并且在使用过程中提高了内壁微结构的加工质量和精确度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206550456U
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201720253906.3
申请日:2017-03-15
申请人: 广东工业大学
摘要: 本实用新型公开了一种电射流掩膜加工用喷头,包括筒形喷头主体,喷头主体的一侧壁上沿其延伸方向均匀设有N个进水口,喷头主体的另一侧壁上沿其延伸方向均匀设有2N个出水口,出水口的延伸方向可垂直于待加工区域,并且每一个进水口可投影于对应的两个出水口中间。本实用新型所提供的电射流掩膜加工用喷头,可以保证同时加工出来的微结构有较好的一致性,保证同时加工而成的微结构具有相同的加工形貌,降低检测难度,并且,该喷头可以同时加工出多个区域,能够有效的提高加工效率。本实用新型还公开了一种包括上述电射流掩膜加工用喷头的电射流掩膜加工系统。
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