公开(公告)号：CN115020305A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202210692296.2

申请日：2022-06-17

申请人： 广东工业大学

发明人： 包艺亮 ,  陈桪 ,  姚敬松 ,  林镇培 ,  林健 ,  梁杰 ,  熊金刚 ,  郑和辉 ,  郭建 ,  董凌志 ,  刘茂林 ,  刘子扬

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L25/075 ,  H01L33/48

摘要： 本发明公开了一种芯片点压机及芯片巨量转移方法，包括固定座、水平活动座、竖直活动座、音圈电机、压电陶瓷促动器和柔性顶针，水平活动座与固定座滑动连接，竖直活动座与水平活动座滑动连接，音圈电机设在固定座的一端，音圈电机的输出端与水平活动座连接，压电陶瓷促动器设在竖直活动座上，柔性顶针的顶端设在压电陶瓷促动器伸缩端相抵，柔性顶针的底端延伸至竖直活动座的下方。采用音圈电机和压电陶瓷促动器分别作为控制柔性顶针x轴方向和z轴方向运动的动力源，使得整体系统具有良好的系统灵敏度、快速性和适应性，能更好的实现高速高精度的传动控制，并使z轴方向的巨量转移Micro‑LED芯片实现巨量转移的动作更加快速高效。