公开(公告)号：CN110233125A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910595129.4

申请日：2019-07-03

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈新 ,  谢勇健 ,  袁懋诞 ,  纪轩荣 ,  陈燕 ,  雷君君

IPC: H01L21/67 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种基于二维超声声梳的晶片排列系统，固定基板沿x轴相对的两个侧边设置有第一超声换能器阵列，包括沿x轴一一对应的第一超声换能器；固定基板沿y轴相对的两个侧边设置有第二超声换能器阵列，包括沿y轴一一对应的第二超声换能器。第一超声换能器阵列以及第二超声换能器阵列可以在固定基板表面形成二维驻波声场以对晶片进行定位，第一超声换能器阵列可以形成沿x轴分布的第一偏置行波场，以在x轴方向上实现晶片的均匀分布；同时第二超声换能器阵列可以形成沿y轴分布的第二偏置行波场，以在y轴方向上实现晶片的均匀分布，从而实现晶片在固定基板表面均匀排列。本发明还提供了一种晶片排列方法，同样具有上述有益效果。

公开(公告)号：CN110299317B

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN201910594645.5

申请日：2019-07-03

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈新 ,  袁懋诞 ,  谢勇健 ,  纪轩荣 ,  陈燕 ,  雷君君

IPC: H01L21/677 ,  H01L27/15

Abstract: 本发明公开了一种基于超声操控和微流控的晶片转移系统，排列换能器阵列包括沿第一方向一一对应的排列超声换能器。相对的排列超声换能器之间可以形成仅包括一个波节的一维排列驻波声场，以及偏置行波场；一维排列驻波声场可以将晶片固定在波节附近，而偏置行波场可以清除不位于波节中心的晶片；转移换能器阵列包括沿第二方向一一对应的转移超声换能器。转移超声换能器可以在固定基板表面形成二维驻波声场将晶片固定在波节附近，而二维驻波声场包括的声场回复力可以沿第一方向移动晶片，实现晶片的大批量移动。本发明还提供了一种基于超声操控和微流控的晶片转移方法，同样具有上述有益效果。

公开(公告)号：CN110299317A

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：CN201910594645.5

申请日：2019-07-03

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 陈新 ,  袁懋诞 ,  谢勇健 ,  纪轩荣 ,  陈燕 ,  雷君君

IPC: H01L21/677 ,  H01L27/15

Abstract: 本发明公开了一种基于超声操控和微流控的晶片转移系统，排列换能器阵列包括沿第一方向一一对应的排列超声换能器。相对的排列超声换能器之间可以形成仅包括一个波节的一维排列驻波声场，以及偏置行波场；一维排列驻波声场可以将晶片固定在波节附近，而偏置行波场可以清除不位于波节中心的晶片；转移换能器阵列包括沿第二方向一一对应的转移超声换能器。转移超声换能器可以在固定基板表面形成二维驻波声场将晶片固定在波节附近，而二维驻波声场包括的声场回复力可以沿第一方向移动晶片，实现晶片的大批量移动。本发明还提供了一种基于超声操控和微流控的晶片转移方法，同样具有上述有益效果。