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公开(公告)号:CN106984369B
公开(公告)日:2019-09-20
申请号:CN201710282299.8
申请日:2017-04-26
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B01L3/00
摘要: 本发明公开了一种微流控芯片用键合装置,包括预热组件、上面板和下面板:所述上面板和所述下面板间设有导柱,所述导柱上套装有相对设置、用于对芯片进行键合的上压头组件和下压头组件,所述上压头组件与动力装置连接以在其带动下沿所述导柱滑动对所述芯片进行键合;所述预热组件包括推料件和用于对所述芯片进行预加热的预热件,所述推料件将经所述预热件预热后的所述芯片推送至所述下压头组件内进行键合。应用本发明公开的微流控芯片用键合装置,通过预热件对芯片进行预热,再通过压头组件进行键合,减小芯片送入压头组件后的升温时间,加热时所需升高的温度少,提高键合效率,且可批次键合芯片,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN107042363A
公开(公告)日:2017-08-15
申请号:CN201710282243.2
申请日:2017-04-26
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B23K26/38 , B23K26/70 , B23K26/122
CPC分类号: B23K26/38 , B23K26/1224 , B23K26/702 , B23K2101/40
摘要: 本发明实施例提供的一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置,包括:激光器、水槽;水槽上方开口,水槽装有液体,水槽中设置有待加工的热沉叠片,热沉叠片浸没于水槽中的液体;激光器对齐于热沉叠片上方,用于发出高能脉冲激光至热沉叠片,通过将热沉叠片设置于液体中然后进行激光加工,激光与液体共同作用,使得激光加工的熔池能量更为集中,使熔融材料去除干净,有效减少了熔融材料的再涂覆,提高了加工质量,既能够减小激光加工热效应的影响,又能够保证精确加工出微通道,同时激光加工效率高,解决现有的切割技术中利用线切割、刻蚀加工等不易加工出,利用激光切割热效应大,变形严重的技术问题。
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公开(公告)号:CN107009105A
公开(公告)日:2017-08-04
申请号:CN201710334730.9
申请日:2017-05-12
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B23P15/24
CPC分类号: B23P15/24
摘要: 本发明实施例提供的一种T型截面微流控模具的制备方法及装置,通过电火花放电对工件进行加工,制备出具有T型微流控流道的工件;对具有T型微流控流道的工件进行微电铸加工和脱模加工获得T型截面微流控模具,能够保证待检测液体更加顺畅地流动,以达到传热、传质和动量传输的目的,同时便于从模具中脱模,在微流道侧面设置角度效果更佳。此外,电火花放电适合于任何难切削导电材料的加工,可以加工特殊及复杂形状的表面和零件。采用特殊水基不燃性工作液进行电火花放电,其生存率不亚于切削加工。微电铸容易制备出复杂形状的零件,尺寸精度高,芯模表面可有精确复制,便于批量生产。
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公开(公告)号:CN106944744A
公开(公告)日:2017-07-14
申请号:CN201710282773.7
申请日:2017-04-26
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B23K26/352 , B22F1/00 , B22F3/105 , B82Y30/00
CPC分类号: B23K26/352 , B22F1/0025 , B22F3/1055 , B82Y30/00
摘要: 本发明实施例提供的一种基于激光诱导空化的各向异性材料植入方法及装置,包括:将基材设置于含有各向异性材料颗粒的悬浊液中,其中各向异性材料颗粒以设定的角度悬浮;通过激光诱导在悬浊液中产生冲击波以及高速微射流,将悬浊液内的各向异性材料颗粒以设定的角度冲击植入基材,解决了传统的激光沉积技术、激光诱导向前转移技术会将各向异性材料破坏且不能将各向异性材料颗粒以设计的角度植入基材的技术问题。此外,本发明实施例还结合使用基材表面修饰的化学方法,使基材表面带有电或基团,使异性材料更容易有角度的结合形成即定的表面微细结构。
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公开(公告)号:CN106914290A
公开(公告)日:2017-07-04
申请号:CN201710313712.2
申请日:2017-05-05
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
CPC分类号: B01L3/502707 , B01L2200/12 , B01L2300/0887 , B01L2300/12 , B32B7/12 , B32B37/12
摘要: 本发明实施例提供了一种微流控芯片封装装置及方法,包括:进给辊、涂胶辊、吸盘、盖片、紫外灯、传送带;进给辊与传送带对齐放置,形成加工通道;进给辊与涂胶辊对齐设置,涂胶辊上设置有待涂胶层;吸盘吸住盖片并设置于传送带上方;紫外灯设置于传送带上方,用于将表面涂有胶层且盖有盖片的基片进行键合,通过进给辊和涂胶辊给基片表面涂上胶层,通过吸盘将盖片压紧至表面涂有胶层的基片上,通过紫外灯将基片和盖片之间的胶层固化并键合,获得微流控芯片,解决了传统工艺中玻璃微流控芯片的键合通常采用高温熔融键合的方法不适合大规模廉价生产且对环境与操作人员有很大的安全隐患的技术问题。
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公开(公告)号:CN106914290B
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN201710313712.2
申请日:2017-05-05
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
摘要: 本发明实施例提供了一种微流控芯片封装装置及方法,包括:进给辊、涂胶辊、吸盘、盖片、紫外灯、传送带;进给辊与传送带对齐放置,形成加工通道;进给辊与涂胶辊对齐设置,涂胶辊上设置有待涂胶层;吸盘吸住盖片并设置于传送带上方;紫外灯设置于传送带上方,用于将表面涂有胶层且盖有盖片的基片进行键合,通过进给辊和涂胶辊给基片表面涂上胶层,通过吸盘将盖片压紧至表面涂有胶层的基片上,通过紫外灯将基片和盖片之间的胶层固化并键合,获得微流控芯片,解决了传统工艺中玻璃微流控芯片的键合通常采用高温熔融键合的方法不适合大规模廉价生产且对环境与操作人员有很大的安全隐患的技术问题。
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公开(公告)号:CN106944744B
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201710282773.7
申请日:2017-04-26
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B23K26/352 , B22F1/00 , B22F3/105 , B82Y30/00
摘要: 本发明实施例提供的一种基于激光诱导空化的各向异性材料植入方法及装置,包括:将基材设置于含有各向异性材料颗粒的悬浊液中,其中各向异性材料颗粒以设定的角度悬浮;通过激光诱导在悬浊液中产生冲击波以及高速微射流,将悬浊液内的各向异性材料颗粒以设定的角度冲击植入基材,解决了传统的激光沉积技术、激光诱导向前转移技术会将各向异性材料破坏且不能将各向异性材料颗粒以设计的角度植入基材的技术问题。此外,本发明实施例还结合使用基材表面修饰的化学方法,使基材表面带有电或基团,使异性材料更容易有角度的结合形成即定的表面微细结构。
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公开(公告)号:CN106984369A
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201710282299.8
申请日:2017-04-26
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B01L3/00
摘要: 本发明公开了一种微流控芯片用键合装置,包括预热组件、上面板和下面板:所述上面板和所述下面板间设有导柱,所述导柱上套装有相对设置、用于对芯片进行键合的上压头组件和下压头组件,所述上压头组件与动力装置连接以在其带动下沿所述导柱滑动对所述芯片进行键合;所述预热组件包括推料件和用于对所述芯片进行预加热的预热件,所述推料件将经所述预热件预热后的所述芯片推送至所述下压头组件内进行键合。应用本发明公开的微流控芯片用键合装置,通过预热件对芯片进行预热,再通过压头组件进行键合,减小芯片送入压头组件后的升温时间,加热时所需升高的温度少,提高键合效率,且可批次键合芯片,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN207013872U
公开(公告)日:2018-02-16
申请号:CN201720494175.1
申请日:2017-05-05
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
IPC分类号: B23K26/362 , B23K26/402 , B24C5/00
摘要: 本实用新型实施例提供了一种玻璃微沟槽加工装置,包括:激光器、工件、喷嘴;所述激光器设置于所述工件的一侧,用于发送激光至所述工件;所述喷嘴设置于所述工件的另一侧,用于喷射微细射流至所述工件。本实用新型通过激光快速高效的粗加工出流道,微磨料水射流进行精加工,不仅可以起到冷却作用,还可以把切屑带走,防止其粘附在工件表面,大大提高了加工表面质量。可以降低激光加工的热影响;可以加工更深质量更好的沟槽。
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公开(公告)号:CN207044501U
公开(公告)日:2018-02-27
申请号:CN201720476596.1
申请日:2017-04-27
申请人: 广东工业大学 , 佛山市铬维科技有限公司
摘要: 本实用新型公开了一种微流控芯片弹性模具局部强化成型装置,包括设置在机床的加工槽,具有模具母板夹具的模具母板安装在加工槽内,电泳辅助系统的阴极与机床的主轴连接,电泳辅助系统的输出端与阴极、模具母板夹具连接,用于在模具母板与阴极之间形成辅助电场,使得颗粒胶体循环系统将强化颗粒胶体、填充物胶体混合产生的混合胶体在弹性模具待强化区沉积,真空温度控制系统用于将成形后的所述混合胶体进行加热处理固化成型。通过电泳辅助系统在模具母板与电泳阴极之间形成辅助电场,实现混合在胶体中的纳米粒子的定向沉积,在增强模具机械强度的同时还可以控制纳米粒子在模具中的强化位置,达到加强特定区域机械强度的目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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