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公开(公告)号：CN109399554A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811428835.1
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种硅微桥压阻式MEMS温度传感器及其制作方法，所述传感器采用硅微桥双层膜结构，且制作在SOI器件上，下层为SOI器件的顶层硅，所述顶层硅上通过离子注入工艺形成压敏电阻；上层为通过溅射工艺形成的金属铝层；所述硅微桥下方悬空，且不与所述SOI器件的衬底硅相连接。该传感器结构相对稳定，且灵敏度高，硅微桥为可动结构，发生热膨胀时，压敏电阻值发生变化，通过电路的连接可以检测出电阻值的变化，基于电阻值的变化与温度变化呈现的数值关系，从而实现温度的测量。
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公开(公告)号：CN109399554B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201811428835.1
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种硅微桥压阻式MEMS温度传感器及其制作方法，所述传感器采用硅微桥双层膜结构，且制作在SOI器件上，下层为SOI器件的顶层硅，所述顶层硅上通过离子注入工艺形成压敏电阻；上层为通过溅射工艺形成的金属铝层；所述硅微桥下方悬空，且不与所述SOI器件的衬底硅相连接。该传感器结构相对稳定，且灵敏度高，硅微桥为可动结构，发生热膨胀时，压敏电阻值发生变化，通过电路的连接可以检测出电阻值的变化，基于电阻值的变化与温度变化呈现的数值关系，从而实现温度的测量。
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公开(公告)号：CN109405990A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811428808.4
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种温度检测系统，所述系统包括传感模块、通信模块、数据模块、以及展示模块；其中，所述传感模块包括温度传感器以及与其连接的边缘计算模块，用于实现温度测量；所述通信模块，用于将所述传感模块的温度测量数据无线传输至所述数据模块；所述数据模块，用于接收温度测量数据；所述展示模块，用于所述温度测量数据的显示与处理。该温度检测系统实现了温度数据的精确测量，且采用无效传输，结构简单，易于布置，使得该系统的通用性更强。
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公开(公告)号：CN107727266A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710889400.6
申请日：2017-09-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
IPC分类号： G01K7/16
CPC分类号： G01K7/16
摘要： 本发明提供了一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统，所述温度传感器包括前端结构、后端电路、无线信号转换电路和供能电路，所述前端结构采用悬臂梁结构，一悬臂梁的一端固定，另一端悬空；并且所述悬臂梁为铝层和SOI器件层硅层的双层结构；所述后端电路包括CMOS开关电容放大器，所述CMOS开关电容放大器将所述前端结构生成的电信号进行放大；所述无线信号转换电路接收后端电路的所述电信号，并通过天线发送；所述供能电路用于通过无线方式对所述MEMS温度传感器供电。MEMS温度传感器实现了微小化、测温精度高、可靠性高，并且有效稳定地实现对开关柜温度的测量。
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公开(公告)号：CN209541940U
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201821966031.2
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本实用新型公开了一种基于硅微桥压阻式MEMS温度传感器的温度检测系统，所述系统包括传感模块、通信模块、数据模块、以及展示模块；其中，所述传感模块包括硅微桥压阻式MEMS温度传感器以及与其连接的边缘计算模块，用于实现温度测量；所述通信模块，用于将所述传感模块的温度测量数据无线传输至所述数据模块；所述数据模块，用于接收温度测量数据；所述展示模块，用于所述温度测量数据的显示与处理。该温度检测系统实现了温度数据的精确测量，且采用无效传输，结构简单，易于布置，使得该系统的通用性更强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207317959U
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201721250354.7
申请日：2017-09-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
IPC分类号： G01K7/16
摘要： 本实用新型提供了一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统，所述温度传感器包括前端结构、后端电路、无线信号转换电路和供能电路，所述前端结构采用悬臂梁结构，一悬臂梁的一端固定，另一端悬空；并且所述悬臂梁为铝层和SOI器件层硅层的双层结构；所述后端电路包括CMOS开关电容放大器，所述CMOS开关电容放大器将所述前端结构生成的电信号进行放大；所述无线信号转换电路接收后端电路的所述电信号，并通过天线发送；所述供能电路用于通过无线方式对所述MEMS温度传感器供电。MEMS温度传感器实现了微小化、测温精度高、可靠性高，并且有效稳定地实现对开关柜温度的测量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209559360U
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201821965998.9
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
IPC分类号： G01K7/24
摘要： 本实用新型公开了一种温度传感器，所述传感器采用硅微桥双层膜结构，且制作在SOI器件上，下层为SOI器件的顶层硅，所述顶层硅上通过离子注入工艺形成压敏电阻；上层为通过溅射工艺形成的金属铝层；所述硅微桥下方悬空，且不与所述SOI器件的衬底硅相连接。该传感器结构相对稳定，且灵敏度高，硅微桥为可动结构，发生热膨胀时，压敏电阻值发生变化，通过电路的连接可以检测出电阻值的变化，基于电阻值的变化与温度变化呈现的数值关系，从而实现温度的测量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN107860985A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201711270544.X
申请日：2017-12-05
申请人： 广东电网有限责任公司江门供电局 , 清华大学
摘要： 一种MEMS电场传感器的无线供能系统，供能方法及MEMS电场传感器。无线供能系统包括信号源、功率放大器、发射天线、接收天线、后端电路；信号源产生的高频交流信号经过功率放大器放大，然后经过发射天线转换为高频电磁波，接收天线接收高频电磁波并转为了电能，后端电路经过一系列的整流、滤波、电压电流转换为满足后端负载所需的电能；其中接收天线、后端电路和电场感应芯片、信号处理电路共同组成MEMS电场传感器。该电场传感器采用无线供能方案，解决了长期持续工作的供能问题，并且保证了电位隔离；同时，集成传感器体积微小，引起的电场畸变程度小，测量准确度高。
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公开(公告)号：CN110533331B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN201910818412.9
申请日：2019-08-30
申请人： 广东电网有限责任公司江门供电局 , 清华大学
IPC分类号： G06Q10/0635 , G06Q50/06 , G06F18/214 , G06F18/2411 , G06F18/23213 , G06N3/08 , G01D21/02
摘要： 本发明提出一种基于输电线路数据挖掘的故障预警方法，包括：采集输电线路故障特征数据，所述输电线路故障特征数据包括电气特征数据、力学特征数据和环境特征数据；获取输电线路故障类型；根据不同输电线路故障类型，基于电气特征数据、力学特征数据和环境特征数据，获得不同输电线路故障类型的故障累积值；比较不同输电线路故障类型的故障累积值大小，判断输电线路实际故障类型，并应用支持向量机评估风险等级，确保输电线路稳定运行。
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公开(公告)号：CN110567518A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910816833.8
申请日：2019-08-30
申请人： 广东电网有限责任公司江门供电局 , 清华大学
摘要： 本发明一种基于输电线路温度测量的动态扩容系统，包括数据监测装置、数据采集装置和终端处理装置，所述数据监测装置包括第一温度传感器、第二温度传感器、倾角传感器和风速传感器，所述数据监测装置与数据采集装置通信连接，数据采集装置与终端处理装置通信连接，所述终端处理装置用于根据传输过来数据的预估所述输电线路未来一定时间段输电线路输电容量余量，并基于输电线路的输电容量余量实现对输电线路的动态扩容，使输电线路带足负荷，提高了输电线路的运行效率。
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