公开(公告)号：CN110824683B

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN201910742697.2

申请日：2019-08-13

申请人： 应用材料以色列公司

发明人： 宾亚明·基什纳 ,  耶希尔·卡波亚诺

IPC分类号： G02B21/08 ,  G02B21/10 ,  G02B21/12 ,  G02B21/02 ,  G02B23/00 ,  G02B7/182 ,  G02B5/30

摘要： 一种用于样本的多模式检查的系统和方法。所述系统包括：辐射源、物镜、明场检测模块、暗场检测模块、以及光学器件。当所述系统以第一模式操作时，所述光学器件被配置为引导输入束通过第一开口朝向所述物镜的第一区域，而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。当所述系统在第二模式中操作时，所述光学器件被配置为引导所述输入束通过第二开口朝向所述物镜的第二区域，而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。所述物镜的所述第一区域与所述物镜的所述第二区域不同。

公开(公告)号：CN110824683A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201910742697.2

申请日：2019-08-13

申请人： 应用材料以色列公司

发明人： 宾亚明·基什纳 ,  耶希尔·卡波亚诺

IPC分类号： G02B21/08 ,  G02B21/10 ,  G02B21/12 ,  G02B21/02 ,  G02B23/00 ,  G02B7/182 ,  G02B5/30

摘要： 一种用于样本的多模式检查的系统和方法。所述系统包括：辐射源、物镜、明场检测模块、暗场检测模块、以及光学器件。当所述系统以第一模式操作时，所述光学器件被配置为引导输入束通过第一开口朝向所述物镜的第一区域，而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。当所述系统在第二模式中操作时，所述光学器件被配置为引导所述输入束通过第二开口朝向所述物镜的第二区域，而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。所述物镜的所述第一区域与所述物镜的所述第二区域不同。

公开(公告)号：CN115268047A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210832138.2

申请日：2019-08-13

申请人： 应用材料以色列公司

发明人： 宾亚明·基什纳 ,  耶希尔·卡波亚诺

IPC分类号： G02B21/08 ,  G02B21/10 ,  G02B21/12 ,  G02B21/02 ,  G02B23/00 ,  G02B7/18 ,  G02B7/182 ,  G02B5/30

摘要： 一种用于样本的多模式检查的系统和方法。所述系统包括：辐射源、物镜、明场检测模块、暗场检测模块、以及光学器件。当所述系统以第一模式操作时，所述光学器件被配置为引导输入束通过第一开口朝向所述物镜的第一区域，而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。当所述系统在第二模式中操作时，所述光学器件被配置为引导所述输入束通过第二开口朝向所述物镜的第二区域，而基本上不阻挡所述输入束的任何部分。所述物镜的所述第一区域与所述物镜的所述第二区域不同。