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公开(公告)号:CN105339799A
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201480037127.9
申请日:2014-05-22
申请人: 应用材料以色列公司
摘要: 提供了评估系统,所述评估系统可包括空间传感器,所述空间传感器包括原子力显微镜(AFM)和固体浸没透镜。AFM布置成生成空间关系信息,所述空间关系信息指示固体浸没透镜与基板之间的空间关系。控制器布置成接收空间关系信息,并且将校正信号发送到至少一个位置校正元件,以便引入固体浸没透镜与基板之间的所需要的空间关系。
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公开(公告)号:CN103105725B
公开(公告)日:2018-01-09
申请号:CN201210375797.4
申请日:2012-09-27
申请人: 应用材料以色列公司
IPC分类号: G03F1/22 , H01L21/027
CPC分类号: H01J37/20 , F16B17/00 , G01N23/18 , G03F1/22 , G03F1/40 , H01J2237/0044 , H01J2237/20 , H01J2237/2008 , H01L21/6831 , Y10T279/23 , Y10T403/70
摘要: 一种耦接模块可包括:上部部分,所述上部部分界定孔隙;掩模接触元件;夹盘接触元件;和中间元件,所述中间元件连接于所述掩模接触元件与所述上部部分之间。孔隙的形状和尺寸可对应于极紫外(EUVL)掩模的图案转移区域的形状和尺寸。耦接模块可经成形并经确定尺寸,使得一旦掩模接触元件接触EUVL掩模的上部部分,那么夹盘接触元件接触支撑所述掩模的夹盘。当EUVL掩模定位于夹盘上时,耦接模块可在EUVL掩模的上部部分与夹盘之间进一步提供至少一个导电路径。
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公开(公告)号:CN103105725A
公开(公告)日:2013-05-15
申请号:CN201210375797.4
申请日:2012-09-27
申请人: 应用材料以色列公司
IPC分类号: G03F1/22 , H01L21/027
CPC分类号: H01J37/20 , F16B17/00 , G01N23/18 , G03F1/22 , G03F1/40 , H01J2237/0044 , H01J2237/20 , H01J2237/2008 , H01L21/6831 , Y10T279/23 , Y10T403/70
摘要: 一种耦接模块可包括:上部部分,所述上部部分界定孔隙;掩模接触元件;夹盘接触元件;和中间元件,所述中间元件连接于所述掩模接触元件与所述上部部分之间。孔隙的形状和尺寸可对应于极紫外(EUVL)掩模的图案转移区域的形状和尺寸。耦接模块可经成形并经确定尺寸,使得一旦掩模接触元件接触EUVL掩模的上部部分,那么夹盘接触元件接触支撑所述掩模的夹盘。当EUVL掩模定位于夹盘上时,耦接模块可在EUVL掩模的上部部分与夹盘之间进一步提供至少一个导电路径。
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