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公开(公告)号：CN1628251B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN03803462.X
申请日：2003-01-07
申请人： 卡普雷斯股份有限公司
发明人： 克里斯蒂安·莱特·彼得森 , 彼得·福尔默·尼耳森
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01Q70/06 , G01N27/041 , G01Q10/065 , G01Q60/30 , G01R1/06794
摘要： 一种电反馈探测系统，其用于探测多点探针和电传导材料测试样品表面之间的电接触。该电反馈探测系统包括电探测器单元，其连接至多点探针中的电极组，并且可选地直接到测试样品表面。该探测器单元向多点测试设备提供电信号，该设备可被用于确定多点探针是否与测试样品表面有电接触。该探测器单元包括用于产生电信号的电发生器装置，通过多点探针的第一电极组和第二开关阻抗探测元件组驱动该电信号。跨越阻抗探测元件的电势确定了对测试样品表面的电接触。
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公开(公告)号：CN1187597C
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN03116770.5
申请日：2003-04-29
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种双元原子力显微镜。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由X、Y轴压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本发明的双元原子力显微镜可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN1551956A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN02817347.3
申请日：2002-07-19
申请人： 国际商业机器公司
摘要： 本发明公开了一种用于降低制品对机械振动的敏感性的设备，该设备包括：框架；(300)安装在框架中、用于沿着位移的第一轴、相对于框架双方向移动的第一(m1)和第二平面质量块；可围绕固定于框架的第一支点(360)旋转的第一杠杆(330)，该杠杆的一端与第一质量块(m1)连接而另一端与第二质量块(m2)连接，并且该支点(360)设置在杠杆的端点之间，其中响应沿着位移轴施加于框架上的机械振动，通过第一质量块围绕支点作用的转矩由通过第二质量块围绕支点作用的转矩抵消，使得所用由第一质量块承载的制品具有对于振动的、降低的敏感性。
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公开(公告)号：CN105339799A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480037127.9
申请日：2014-05-22
申请人： 应用材料以色列公司
摘要： 提供了评估系统，所述评估系统可包括空间传感器，所述空间传感器包括原子力显微镜(AFM)和固体浸没透镜。AFM布置成生成空间关系信息，所述空间关系信息指示固体浸没透镜与基板之间的空间关系。控制器布置成接收空间关系信息，并且将校正信号发送到至少一个位置校正元件，以便引入固体浸没透镜与基板之间的所需要的空间关系。
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公开(公告)号：CN100477067C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN03816140.0
申请日：2003-07-07
申请人： 马尔蒂普罗布公司
发明人： 凯西·帕特里克·黑尔 , 安德鲁·诺曼·埃里克森
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q70/06 , Y10S977/85 , Y10S977/874
摘要： 本发明涉及一种近距离扫描多探针扫描显微镜的方法及装置，其可同时对多个重叠扫描区域进行扫描并避免碰撞，其使用一控制系统(130)向一第一原子力显微镜(AFM)(148a)提供驱动信号，并依据第一驱动信号及其他AFM距该第一AFM的相对位置向其他AFM(148b及148c)提供计算出的驱动信号，以使其在移动中保持恒定间隔。使用多个AFM对多个目标形貌进行扫描及故障分析(FA)探测可减少勘定FA形貌及建立测量值所需时间。
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公开(公告)号：CN101039870B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200580034980.6
申请日：2005-09-23
申请人： 国际商业机器公司
发明人： 维克托斯·伯斯蒂斯
IPC分类号： B82B3/00
摘要： 公开了一种使用诸如原子力显微镜中使用的近似探针之类的近似探针集来操纵分子的系统。将静电模式置于近似探针集上以便每个近似探针可以施加静电力。分子使用那些静电力捕获，在这之后，可以在分子保持由近似探针捕获的同时操纵该分子。可以修改静电模式，以便在分子保持由近似探针集捕获的同时在该近似探针集上移动和/或旋转分子。在分子保持由近似探针集捕获的同时，该静电模式可用于弯曲或者拆分分子，由此允许系统使分子参加化学反应，以例如起合成催化剂或者合成酶的作用。
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公开(公告)号：CN101601100A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200780045194.5
申请日：2007-10-31
申请人： 因菲尼泰西马有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于扫描探针显微镜中的探针组件。所述探针组件包括具有一组至少三个基本相同的探针的托架，每个探针具有位于该组探针末端所共有的平面上、并且可移动离开该平面的末端。所述组件还包括寻址装置，该寻址装置适于选择该组探针中的一个探针以用于相对于探针中的大多数其余探针的相对移动。这样的组件具有便于快速地、可能自动地替换使用过的探针的潜力，适合用于高速扫描设备中。
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公开(公告)号：CN100387968C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN00809763.1
申请日：2000-05-31
申请人： 株式会社大宇电子
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q70/06 , Y10S977/87
摘要： 提供来一种能在大气压力下以高分辨率高速观察样品表面的外形的原子力显微镜(AFM)及其驱动方法，该AFM包括光束源单元、光束扫描器、扫描探头单元(或矩阵)，光束检测单元、驱动控制单元及显示单元。该驱动方法包括有步骤：响应参照信号振动设在各该扫描探头的第一致动器；检测在其自由端上设有尖端的悬臂的弯曲量；以及根据该悬臂的弯曲量将伺服信号传输给第二致动器。
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公开(公告)号：CN1666312A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN03816140.0
申请日：2003-07-07
申请人： 马尔蒂普罗布公司
发明人： 凯西·帕特里克·黑尔 , 安德鲁·诺曼·埃里克森
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , G01Q70/06 , Y10S977/85 , Y10S977/874
摘要： 本发明涉及一种近距离扫描多探针扫描显微镜的方法及装置，其可同时对多个重叠扫描区域进行扫描并避免碰撞，其使用一控制系统(130)向一第一原子力显微镜(AFM)(148a)提供驱动信号，并依据第一驱动信号及其他AFM距该第一AFM的相对位置向其他AFM(148b及148c)提供计算出的驱动信号，以使其在移动中保持恒定间隔。使用多个AFM对多个目标形貌进行扫描及故障分析(FA)探测可减少勘定FA形貌及建立测量值所需时间。
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