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发明公开
图案化金属氧化物光刻胶的剂量减量审中-实审

公开(公告)号：CN114223050A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202080055591.6

申请日：2020-06-02

申请人： 应用材料公司

发明人： 特金德·辛格 , 阎俐凡 , 阿卜希吉特·B·马尔利克 , 丹尼尔·李·迪尔 , 和勇·黄 , 乔斯林甘·罗摩林甘

IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/033 , G03F7/115

摘要： 本公开内容的多个实施方式一般涉及用作极紫外(EUV)平板印刷术中的掩模的多层堆叠物和用于形成多层堆叠物的方法。在一个实施方式中，方法包括以下步骤：在膜堆叠物之上形成碳层，通过物理气相沉积(PVD)工艺在碳层上形成富金属氧化物层，在富金属氧化物层上形成金属氧化物光刻胶层，和图案化金属氧化物光刻胶层。金属氧化物光刻胶层不同于富金属氧化物层，且通过与PVD工艺不同的工艺形成金属氧化物光刻胶层。通过PVD工艺形成的富金属氧化物层改善了金属氧化物光刻胶层的黏附力，并在EUV平板印刷期间增加次级电子，从而导致EUV剂量能量减少。